用于分配气体混合物的设备和方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115917721A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202180039659.6(71)申请人液化空气电子系统公司(22)申请日2021.05.31地址法国巴黎(30)优先权数据(72)发明人V·托多罗娃埃尔韦·迪尔菲FR20059222020.06.05FR(74)专利代理机构北京市中咨律师事务所(85)PCT国际申请进入国家阶段日112472022.12.01专利代理师彭立兵林柏楠(86)PCT国际申请的申请数据(51)Int.Cl.PCT/EP2021/0644782021.05.31H01L21/67(2006.01)(87)PCT国际申请的公布数据WO2021/245000FR2021.12.09权利要求书3页说明书13页附图3页(54)发明名称传感器(8)，该至少一个测量传感器被配置成测用于分配气体混合物的设备和方法量物理量并提供所述物理量的第一测量信号，该(57)摘要物理量的变化表示通过输送管线(6)输送的消耗一种用于输送气体混合物的设备，该设备包流量(DC)的变化；控制单元(5)，该控制单元连接括第一气体(1)源；第二气体(2)源；流体连接到到该测量传感器(8)并且被配置成从该第一测量第一气体(1)源和第二气体(2)源的混合器装置信号产生第一控制信号，这些流量调节器构件(3)，所述混合器装置(3)被配置成在出口(33)处(41，42)被配置成响应于所述第一控制信号而调产生包括该第一气体和该第二气体的气体混合整该第一流量设定点(D1)和该第二流量设定点物；第一流量调节器构件(41)和第二流量调节器(D2)。构件(42)，该第一流量调节器构件和该第二流量调节器构件被配置成分别根据第一流量设定点(D1)和第二流量设定点(D2)来调节流向该混合器装置(3)的该第一气体的流量和该第二气体的流量，该第一流量设定点和该第二流量设定点定义了在操作中在该混合器装置(3)的出口(33)处的该气体混合物的生产流量(DP)；控制单元(5)，该控制单元被配置成控制该第一流量调节器构件和该第二流量调节器构件(41，42)，以便调整该第一流量设定点(D1)和该第二流量设定点(D2)相对于该生产流量(DP)的相应比例，所述相应比例是根据该气体混合物中第一气体和/或第二气体的至少一个目标含量(C1，C2)确定的；缓冲罐(7)，该缓冲罐一方面流体连接到该混合器装置(3)的出口(33)，并且另一方面流体连接到输送管线(6)，该输送管线(6)被配置成将该气体混合物以表示该气体混合物的可变消耗量的消CN115917721A耗流量(DC)输送到消耗单元(10)；至少一个测量CN115917721A权利要求书1/3页1.一种用于输送气体混合物的设备，该设备包括：‑第一气体(1)源；‑第二气体(2)源；‑混合器装置(3)，该混合器装置流体连接到该第一气体(1)源和该第二气体(2)源，所述混合器装置(3)被配置成在出口(33)处产生包括该第一气体以及该第二气体的气体混合物，‑第一流量调节器构件(41)和第二流量调节器构件(42)，该第一流量调节器构件和该第二流量调节器构件被配置成分别根据第一流量设定点(D1)和第二流量设定点(D2)来调节流向混合器装置(3)的该第一气体的流量和该第二气体的流量，该第一流量设定点和该第二流量设定点定义了在操作中在该混合器装置(3)的出口(33)处的该气体混合物的生产流量(DP)，‑控制单元(5)，该控制单元被配置成控制该第一流量调节器构件和该第二流量调节器构件(41，42)，以便调整该第一流量设定点(D1)和该第二流量设定点(D2)相对于该生产流量(DP)的相应比例，所述相应比例是根据该气体混合物中第一气体和/或第二气体的至少一个目标含量(C1，C2)确定的，‑缓冲罐(7)，该缓冲罐一方面流体连接到该混合器装置(3)的出口(33)，并且另一方面流体连接到输送管线(6)，该输送管线(6)被配置成将该气体混合物以表示该气体混合物的可变消耗量的消耗流量(DC)输送到消耗单元(10)，‑至少一个测量传感器(8)，该至少一个测量传感器被配置成测量物理量并提供所述物理量的第一测量信号，该物理量的变化表示通过该输送管线(6)输送的消耗流量(DC)的变化，该控制单元(5)连接到该测量传感器(8)并被配置成从该第一测量信号产生第一控制信号，这些流量调节器构件(41，42)被配置成响应于所述第一控制信号而调整该第一流量设定点(D1)和该第二流量设定点(D2)。2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，该设备包括从该第一流量设定点和该第二流量设定点(D1，D2)到由该测量传感器(8)提供的该第一测量信号的第一反馈回路，所述第一回路包括：‑第一比较器(11A)，该第一比