一种高效研磨液冷却装置及其快速冷却方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113858047A(43)申请公布日2021.12.31(21)申请号202111065539.1(22)申请日2021.09.10(71)申请人杭州中欣晶圆半导体股份有限公司地址311201浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号(72)发明人高威(74)专利代理机构杭州融方专利代理事务所(普通合伙)33266代理人沈相权(51)Int.Cl.B24B55/03(2006.01)F25D31/00(2006.01)B03C1/30(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图6页(54)发明名称一种高效研磨液冷却装置及其快速冷却方法(57)摘要本发明公开了一种高效研磨液冷却装置及其快速冷却方法，包括主箱体和固定在主箱体底部四角的支腿，四个所述支腿的表面之间固定有横板，所述主箱体内壁的四周之间固定有积液板，所述积液板的底部贯穿安装有积液斗，所述积液板与主箱体之间设置有过滤无消耗散热机构，主箱体上设置有自动除屑机构，过滤无消耗散热机构包括设置在积液板下方的承接盒，承接盒通过吊杆固定在积液板的下方，本发明涉及研磨液技术领域。该高效研磨液冷却装置及其快速冷却方法，通过过滤无消耗散热机构的设置，便于对研磨液内部热量进行快速吸附，达到快速冷却的效果，且能对研磨液进行初步过滤，使其内部的大颗粒铁屑能被过滤，方便后期的精细过滤。CN113858047ACN113858047A权利要求书1/2页1.一种高效研磨液冷却装置，包括主箱体(1)和固定在主箱体(1)底部四角的支腿(2)，其特征在于：四个所述支腿(2)的表面之间固定有横板(3)，所述主箱体(1)内壁的四周之间固定有积液板(4)，所述积液板(4)的底部贯穿安装有积液斗(5)，所述积液板(4)与主箱体(1)之间设置有过滤无消耗散热机构(6)，所述主箱体(1)上设置有自动除屑机构(7)；所述过滤无消耗散热机构(6)包括设置在积液板(4)下方的承接盒(61)，所述承接盒(61)通过吊杆(62)固定在积液板(4)的下方，所述承接盒(61)的内部设置有石墨烯导热平板(63)，所述石墨烯导热平板(63)的两侧均固定有滑块(64)，所述承接盒(61)内壁的两侧均开设有与滑块(64)相适配的滑槽(65)，所述石墨烯导热平板(63)的顶部贯穿开设有滤孔(66)，所述承接盒(61)的底部固定有顶出气缸(67)，所述顶出气缸(67)的顶端与石墨烯导热平板(63)的底部固定连接，所述承接盒(61)的底部连通有方管(68)，所述主箱体(1)内壁的顶部固定有积液盒(69)，所述积液盒(69)的内壁通过支杆(613)固定有石墨烯弧形导板(610)，所述石墨烯弧形导板(610)的表面固定有散热翅片(611)，所述石墨烯弧形导板(610)设置有多个，多个所述石墨烯弧形导板(610)交错设置，所述承接盒(61)上设置有刷动除屑机构(612)；所述刷动除屑机构(612)包括固定在承接盒(61)底部的L型板(612‑1)，所述L型板(612‑1)的顶部放置有废屑收集盒(612‑2)，所述承接盒(61)的右侧固定有斜导板(612‑3)，所述斜导板(612‑3)顶部的前方和后方均固定有侧挡板(612‑4)，所述斜导板(612‑3)的底部固定有震动电机(612‑5)，所述主箱体(1)内壁的左侧固定有刷动电机(612‑6)，所述刷动电机(612‑6)的输出轴固定有丝杆(612‑7)，所述丝杆(612‑7)的右端与L型板(612‑1)的左侧转动连接，所述丝杆(612‑7)的表面螺纹连接有移动块(612‑8)，所述L型板(612‑1)的左侧固定有滑杆(612‑9)，所述滑杆(612‑9)的左端贯穿移动块(612‑8)并与主箱体(1)内壁的左侧固定连接，所述移动块(612‑8)的底部固定有清理刷毛(612‑10)。2.根据权利要求1所述的一种高效研磨液冷却装置，其特征在于：所述自动除屑机构(7)包括贯穿设置在主箱体(1)底部的圆筒(71)，所述圆筒(71)的顶部转动有筒盖(72)，所述圆筒(71)的底部固定有离心电机(73)，所述离心电机(73)的输出轴固定有贯穿至圆筒(71)内部的离心轴(74)。3.根据权利要求2所述的一种高效研磨液冷却装置，其特征在于：所述离心轴(74)的表面固定有离心桨(75)，所述圆筒(71)的内壁贴合有电磁铁圈(76)，所述电磁铁圈(76)的表面固定有铁块(77)。4.根据权利要求2所述的一种高效研磨液冷却装置，其特征在于：所述圆筒(71)的内壁开设有与铁块(77)相适配的竖槽(78)，所述圆筒(71)的内壁还开设有与竖槽(78)连通的弧形槽(79)，所述弧形槽(79)的内壁嵌设安装有与铁块(77)配合使用的磁吸块(710)。5.根据权利要