振动面板及振动装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115933865A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202110946572.9(22)申请日2021.08.18(71)申请人北京京东方技术开发有限公司地址100176北京市大兴区经济技术开发区地泽路9号1幢407室申请人京东方科技集团股份有限公司(72)发明人陈右儒(74)专利代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司11291专利代理师姚楠(51)Int.Cl.G06F3/01(2006.01)G06F3/041(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图5页(54)发明名称振动面板及振动装置(57)摘要本发明实施例提供了一种振动面板及振动装置，本发明通过将压电层与第一电极层和第二电极层中的至少一个电极层的界面设置成具有凹凸结构，凹凸结构可以增大压电层与其中至少一个电极层的界面接触面积，这样压电层和其中至少一个电极层就形成粘附性较强的互锁结构，从而可以增强压电层和其中至少一个电极层之间的粘附性，防止压电层与电极层发生脱落(peeling)的风险，并且凹凸结构可以释放膜层应力，进而提高振动面板的信赖性。CN115933865ACN115933865A权利要求书1/2页1.一种振动面板，其特征在于，包括：衬底基板，以及位于所述衬底基板上依次层叠设置的第一电极层、压电层和第二电极层；其中，所述压电层与所述第一电极层和所述第二电极层中的至少一个电极层的界面具有凹凸结构。2.如权利要求1所述的振动面板，其特征在于，所述压电层面向所述第一电极层的一侧具有多个第一凹槽；所述第一电极层包括：与所述第一凹槽相互匹配的多个第一凸起，以及位于所述衬底基板和所述第一凸起之间的第一平面部；所述凹凸结构包括相互匹配的所述第一凸起和所述第一凹槽。3.如权利要求2所述的振动面板，其特征在于，所述压电层面向所述第二电极层的一侧具有多个第二凹槽；所述第二电极层包括：与所述第二凹槽相互匹配的多个第二凸起，以及位于所述第二凸起背离所述衬底基板一侧的第二平面部；所述凹凸结构还包括相互匹配的所述第二凸起和所述第二凹槽。4.如权利要求1～3任一项所述的振动面板，其特征在于，所述衬底基板面向所述第一电极层的一侧具有多个第三凹槽；所述第一电极层包括：与所述第三凹槽相互匹配的第三凸起，所述第一平面部位于所述第三凸起与所述第一凸起之间，所述第一凸起与所述第三凸起交替设置，且所述第一凸起在所述衬底基板上的正投影和所述第三凸起在所述衬底基板上的正投影不交叠。5.如权利要求3所述的振动面板，其特征在于，所述第一凸起和所述第二凸起交替设置，且所述第一凸起在所述衬底基板上的正投影和所述第二凸起在所述衬底基板上的正投影不交叠。6.如权利要求1所述的振动面板，其特征在于，所述压电层面向所述第二电极层的一侧具有多个第二凹槽；所述第二电极层包括：与所述第二凹槽相互匹配的多个第二凸起，以及位于所述第二凸起背离所述衬底基板一侧的第二平面部；所述凹凸结构包括相互匹配的所述第二凸起和所述第二凹槽。7.如权利要求3或6所述的振动面板，其特征在于，所述第二电极层背离所述衬底基板的一侧具有与所述第二凸起对应设置的多个第四凹槽，所述第四凹槽的深度小于或等于所述第二平面部的厚度。8.如权利要求7所述的振动面板，其特征在于，还包括位于所述第二电极层背离所述衬底基板一侧的绝缘层，所述绝缘层与所述第二电极层紧密贴合。9.如权利要求3所述的振动面板，其特征在于，所述第一凸起和所述第二凸起在所述衬底基板上的正投影均呈条形，所述第一凸起和所述第二凸起均沿第一方向延伸，且所述第一凸起和所述第二凸起沿第二方向交替排列，所述第一方向和所述第二方向交叉设置。10.如权利要求3所述的振动面板，其特征在于，所述第一凸起和所述第二凸起在所述衬底基板上的正投影均呈块状，所述第一凸起和所述第二凸起沿第一方向和第二方向均交替排列，所述第一方向和所述第二方向交叉设置。11.如权利要求5或8所述的振动面板，其特征在于，所述压电层的最大厚度大于所述第2CN115933865A权利要求书2/2页一电极层的最大厚度的10倍。12.如权利要求11所述的振动面板，其特征在于，所述第一凸起的宽度为1μm～15μm，所述第一电极层的最大厚度为50nm～200nm。13.如权利要求3所述的振动面板，其特征在于，所述第一凸起的厚度和所述第二凸起的厚度均小于所述第一电极层的最大厚度的10％。14.如权利要求7所述的振动面板，其特征在于，所述第二凸起的宽度为50nm～200nm，所述第二平面部的厚度为1μm～10μm。15.一种振动装置，其特征在于，包括如权利要求1‑14任一项所述的振动面板。3CN115933865A说明书1/7页振动面板及振动装置技术领域[0001]本发明涉及传感