单晶硅PERC电池二次制绒工艺.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115928219A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202211709828.5(22)申请日2022.12.29(71)申请人中节能太阳能科技（镇江）有限公司地址212132江苏省镇江市新区北山路9号(72)发明人王丽婷孙航周啸颖黄镇刘海涛许伟谢文君舒振兴王守志刘阳黄国平李菁楠(74)专利代理机构北京创赋致远知识产权代理有限公司11972专利代理师汤磊(51)Int.Cl.C30B33/10(2006.01)C30B29/06(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称单晶硅PERC电池二次制绒工艺(57)摘要本发明公开了一种单晶硅PERC电池二次制绒工艺，一次制绒工艺槽、二次制绒工艺槽初批次制绒后，每批次制绒前，二次制绒工艺槽的废液定排加入一次制绒工艺槽，一次制绒工艺槽、二次制绒工艺槽均分别补加入KOH溶液、添加剂、纯水，再进行下一批次制绒。阶梯补液通过将二次制绒工艺槽中制绒后的废液回收进入一次制绒工艺槽，参与下一批次硅片制绒，并合理优化了制绒工艺参数，在现有规模化生产的基础上，不仅重新利用二次制绒废液降低耗量，节省了制绒用液量，节约了成本，减少了浪费和废液处理，更加环保，维持制绒制程稳定，延长制绒药液寿命周期，还可以利用二次制绒工艺进一步优化绒面结构，制得的电池电性能相当，甚至得到一定提升。CN115928219ACN115928219A权利要求书1/1页1.一种单晶硅PERC电池二次制绒工艺，其特征在于：一次制绒工艺槽、二次制绒工艺槽初批次制绒后，每批次制绒前，二次制绒工艺槽的废液定排加入一次制绒工艺槽，一次制绒工艺槽、二次制绒工艺槽均分别补加入KOH溶液、添加剂、纯水，再进行下一批次制绒。2.根据权利要求1所述的单晶硅PERC电池二次制绒工艺，其特征在于：制绒工艺槽的制绒批次不超过250批次，每批次的单晶硅片数量不超过400片。3.根据权利要求1所述的单晶硅PERC电池二次制绒工艺，其特征在于：一次制绒工艺槽的初批次制绒配液参数为：KOH溶液6000～7000ml，添加剂1500～2500ml，纯水300000～305000ml；二次制绒工艺槽的初批次制绒配液参数为：KOH溶液2000～3000ml，添加剂500～1500ml，纯水300000～305000ml。4.根据权利要求1所述的单晶硅PERC电池二次制绒工艺，其特征在于：制绒批次不超过40批次时，二次制绒工艺槽定排加入一次制绒工艺槽的废液量为A，一次制绒工艺槽补加入KOH溶液、添加剂、纯水的量分别为B、C、D，二次制绒工艺槽补加入KOH溶液、添加剂、纯水的量分别为E、F、G；A为4000～4500ml，B为300～500ml，C为50～150ml，D为7000～9000ml，E为150～250ml，F为20～160ml，G为4000～4500ml；制绒批次超过40批次、不超过100批次时，二次制绒工艺槽定排加入一次制绒工艺槽的废液量为A－500ml，一次制绒工艺槽补加入KOH溶液、添加剂、纯水的量分别为B、C+5ml、D，二次制绒工艺槽补加入KOH溶液、添加剂、纯水的量分别为E、F+3ml、G；制绒批次超过100批次、不超过200批次时，二次制绒工艺槽定排加入一次制绒工艺槽的废液量为A－800ml，一次制绒工艺槽补加入KOH溶液、添加剂、纯水的量分别为B、C+5ml、D+500ml，二次制绒工艺槽补加入KOH溶液、添加剂、纯水的量分别为E、F+3ml、G+500ml；制绒批次超过200批次、不超过250批次时，二次制绒工艺槽定排加入一次制绒工艺槽的废液量为A－1000ml，一次制绒工艺槽补加入KOH溶液、添加剂、纯水的量分别为B、C+10ml、D+1000ml，二次制绒工艺槽补加入KOH溶液、添加剂、纯水的量分别为E、F+8ml、G+500ml。5.根据权利要求1所述的单晶硅PERC电池二次制绒工艺，其特征在于：一次制绒工艺槽的制绒时间300～360s、温度80～85℃，二次制绒工艺槽的制绒时间110～130s、温度80～84℃。6.根据权利要求1所述的单晶硅PERC电池二次制绒工艺，其特征在于：一次制绒工艺槽的KOH溶液体积浓度为1.9％～2.3％，二次制绒工艺槽的KOH溶液体积浓度为0.6％～1.0％。7.根据权利要求6所述的单晶硅PERC电池二次制绒工艺，其特征在于：一次制绒工艺槽的KOH溶液体积浓度为2％，二次制绒工艺槽的KOH溶液体积浓度为0.81％。8.根据权利要求1所述的单晶硅PERC电池二次制绒工艺，其特征在于：添加剂包括成核剂、缓蚀剂、清洗剂。2CN115928219A说明书1/5页单晶硅PERC电池