一种用于纳米压印设备的上料机构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115933311A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202211731522.X(22)申请日2022.12.30(71)申请人青岛天仁微纳科技有限责任公司地址266000山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房(72)发明人冀然李铭(74)专利代理机构山东重诺律师事务所37228专利代理师王鹏里(51)Int.Cl.G03F7/00(2006.01)H05F3/06(2006.01)B08B5/02(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称一种用于纳米压印设备的上料机构(57)摘要本申请涉及纳米压印技术领域，公开一种用于纳米压印设备的上料机构，包括壳体单元、传送单元、安全门单元和清洁单元，壳体单元包括壳体，壳体上设置有传送开口，吸风结构设置在壳体的顶部，负压抽风结构设置在壳体的下部；传送单元可移动安装在壳体的中部，传送单元包括固定板和移动结构，固定板安装在移动结构上；安全门单元安装在壳体的侧部，安全门单元与传送开口位置对应；清洁单元安装在传送单元上方。本公开的上料机构可以作为纳米压印设备的缓冲区，减少人为因素影响压印腔内的洁净度，同时还可提高上料的精度，此外上料机构还能够去除材料静电避免静电污染，提高压印材料的洁净度。CN115933311ACN115933311A权利要求书1/2页1.一种用于纳米压印设备的上料机构，其特征在于，包括：壳体单元，包括壳体、吸风结构和负压抽风结构，所述壳体上设置有传送开口，所述吸风结构设置在所述壳体的顶部，所述负压抽风结构设置在所述壳体的下部；传送单元，可移动安装在所述壳体的中部，所述传送单元包括固定板和移动结构，所述固定板安装在所述移动结构上，所述固定板用于固定软膜，所述传送单元用于传送所述软膜；安全门单元，安装在所述壳体的侧部，所述安全门单元与所述传送开口位置对应，所述安全门单元用于在关门时封闭所述传送开口，在开门时使所述传送单元通过所述传送开口进出所述壳体；清洁单元，安装在所述传送单元上方，用于去除所述软膜的静电和清洁所述软膜。2.根据权利要求1所述的上料机构，其特征在于，所述固定板设置有中心孔，所述中心孔用于减少所述固定板与所述软膜的接触面积；所述固定板的上表面设置有真空气槽，所述真空气槽通过气管与真空泵连通，所述真空气槽用于吸附所述软膜。3.根据权利要求2所述的上料机构，其特征在于，所述真空气槽包括：第一气槽，环绕所述中心孔的外周设置；第二气槽，位于所第一气槽的外周，所述第二气槽与所述第一气槽连通；所述第一气槽与第二气槽的连通处设置有真空孔，所述气管通过所述真空孔连通所述第一气槽和所述第二气槽。4.根据权利要求2所述的上料机构，其特征在于，所述固定板的上表面设置有对位线槽，所述对位线槽位于所述真空气槽的外侧，所述对位线槽用于所述软膜的定位。5.根据权利要求1所述的上料机构，其特征在于，所述安全门单元包括：门体，可升降安装在所述壳体侧部的开口，所述门体用于在关门时封闭所述传送开口；传动结构，包括连接杆和连接块，所述连接杆与所述门体的底部连接，所述连接块与所述连接杆的端部连接；第一升降结构，与所述连接块连接，用于带动所述传动结构升降，以使所述门体进行开闭动作。6.根据权利要求5所述的上料机构，其特征在于，所述安全门单元包括：检测结构，安装在所述门体的外侧，用于检测门体外有无物体的存在。7.根据权利要求1至6任一项所述的上料机构，其特征在于，所述壳体单元包括：第一孔板，位于所述传送单元下方；第二孔板，位于所述第一孔板下方；风道壳体，位于所述第一孔板和所述第二孔板之间。8.根据权利要求1至6任一项所述的上料机构，其特征在于，所述风道壳体为沙漏型结构。9.根据权利要求1至6任一项所述的上料机构，其特征在于，所述吸风结构包括：风机，安装在所述壳体的顶部；风机过滤结构，安装在风机的出风口；2CN115933311A权利要求书2/2页二次过滤结构，位于所述风机过滤结构的出口。10.根据权利要求9所述的上料机构，其特征在于，所述清洁单元包括去离子发生器、风刀、支撑杆和角度调节块；所述去离子发生器生成的离子通过风刀吹向所述软膜，用于去除所述软膜上的静电：所述去离子发生器和所述风刀通过所述支撑杆安装在所述壳体的上部，并位于所述传送单元上方，所述角度调节块用于调节风刀与软膜之间的角度。3CN115933311A说明书1/6页一种用于纳米压印设备的上料机构技术领域[0001]本申请涉及纳米压印技术领域，例如涉及一种用于纳米压印设备的上料机构。背景技术[0002]几十年来，光刻技术的特征尺寸不断减小，给制造技术提出了新的挑战。为了得到更高分辨率的结构，就要求使用更短波长的光作为曝