多炉体结构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115930609A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202310028018.1(22)申请日2023.01.09(71)申请人拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司地址214194江苏省无锡市锡山区锡北镇东青河路3号(72)发明人朱太荣刘磊肖阳林佳继刘群(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332专利代理师潘登(51)Int.Cl.F27B19/02(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称多炉体结构(57)摘要本发明公开了一种多炉体结构，该多炉体结构包括机架、加热装置、隔热材料件和支撑组件，机架设置有容纳腔，加热装置为多个，多个加热装置依次设置在容纳腔内，隔热材料件填充在容纳腔的内壁与加热装置之间，支撑组件设在容纳腔内以支撑加热装置。该多炉体结构能够较好地避免加热装置塌陷的现象发生，且维修及运输成本均较低。CN115930609ACN115930609A权利要求书1/1页1.多炉体结构，其特征在于，包括：机架(1)，所述机架(1)设置有容纳腔；加热装置(2)，所述加热装置(2)为多个，多个所述加热装置(2)依次设置在所述容纳腔内；隔热材料件(3)，所述隔热材料件(3)填充在所述容纳腔的内壁与所述加热装置(2)之间；支撑组件(4)，所述支撑组件(4)设在所述容纳腔内以支撑所述加热装置(2)。2.根据权利要求1所述的多炉体结构，其特征在于，所述容纳腔为多个，多个所述容纳腔间隔设置，每个所述容纳腔的底壁上设有所述支撑组件(4)。3.根据权利要求2所述的多炉体结构，其特征在于，所述支撑组件(4)包括支撑座(41)和支撑杆(42)，所述支撑座(41)连接于所述容纳腔的底壁，所述支撑杆(42)安装于所述支撑座(41)，且用于支撑所述加热装置(2)。4.根据权利要求3所述的多炉体结构，其特征在于，所述支撑杆(42)为绝缘件，或者所述支撑杆(42)的与所述加热装置(2)接触的表面设有绝缘层。5.根据权利要求2所述的多炉体结构，其特征在于，所述支撑组件(4)包括间隔设置的多个。6.根据权利要求2‑5中任一项所述的多炉体结构，其特征在于，所述机架(1)包括：分隔部(11)，所述分隔部(11)为多个，多个所述分隔部(11)间隔设置；封闭部(12)，所述封闭部(12)为两个，每个所述封闭部(12)与所述分隔部(11)垂直设置；其中，每个所述分隔部(11)的两端均连接在所述封闭部(12)上。7.根据权利要求6所述的多炉体结构，其特征在于，所述封闭部(12)上设有至少一个可开闭的封闭门。8.根据权利要求1所述的多炉体结构，其特征在于，所述支撑组件(4)包括成对设置的支撑件，所述支撑件的两端分别连接在所述容纳腔相对设置的两个侧壁上，成对设置的所述支撑件分别支撑在所述加热装置(2)沿其长度方向的两端。9.根据权利要求1所述的多炉体结构，其特征在于，所述支撑组件(4)包括连接件，所述连接件连接在相邻的两个加热装置(2)之间，以及位于两侧的所述加热装置(2)与所述容纳腔的顶壁和顶壁之间。10.根据权利要求1所述的多炉体结构，其特征在于，所述多炉体结构还包括接线板(5)，所述接线板(5)设在所述机架(1)上，所述接线板(5)用于引出所述加热装置(2)的引线。11.根据权利要求1所述的多炉体结构，其特征在于，所述多炉体结构还包括封板和炉门，所述封板和炉门分别连接在所述机架(1)的相对设置的两侧，以封闭所述容纳腔的敞开端。2CN115930609A说明书1/5页多炉体结构技术领域[0001]本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种多炉体结构。背景技术[0002]在现有的技术中，炉体通常由加热模块、隔热棉和金属外壳组成，在制造过程中，先采用隔热棉将加热模块包裹住，再用金属外壳拉紧隔热棉，使之能紧紧贴合，在此过程中安装起来比较困难，且隔热棉受到加热模块的重力会被挤压变形，并导致下侧的隔热棉厚度变薄，上侧的隔热棉出现空隙，从而容易造成加热模块塌陷的现象发生，并且热炉在打包过程中，需要制作一个木箱子，把热场炉体放置在木箱子里面才能运输，运输成本高。此外，现有的炉体中通常设置多个沿其周向拼接的加热模块，由于其结构特性，一个加热模块损坏时就需要更换整个炉体，维修成本非常高。发明内容[0003]本发明的目的在于提出一种多炉体结构，该多炉体结构能够较好地避免加热装置塌陷的现象发生，且维修及运输成本均较低。[0004]为实现上述技术效果，本发明的技术方案如下：[0005]本发明公开了一种多炉体结构，包括：机架，所述机架设置有容纳腔；加热装置，所述加热装置为多个，多个所述加热装置依次设置在所述容纳腔内；隔热材料件，所述隔热材料件填充在所述容纳腔的内壁与所述加热装置之