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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108085647A(43)申请公布日2018.05.29(21)申请号201711219101.8(51)Int.Cl.(22)申请日2017.11.28C23C14/32(2006.01)C23C14/50(2006.01)(71)申请人中国科学院宁波材料技术与工程研究所地址315201浙江省宁波市镇海区庄市大道519号申请人包头中科金蒙磁材绿色防护技术研发中心有限公司包头希迪瑞科技有限公司(72)发明人宋振纶胡方勤丁雪峰杨丽景郑必长张青科姜建军(74)专利代理机构杭州天勤知识产权代理有限公司33224代理人徐敏权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种用于真空镀膜的螺杆传送装置(57)摘要本发明公开了一种用于真空镀膜的螺杆传送装置,包括:样品台,与真空镀膜设备的真空镀膜腔体配合;传送模块,安装在所述样品台上用于将样品从上料区传送至镀膜区;动力源,固定在真空镀膜腔体外部;第一传动连接件,一端与所述动力源连接,另一端伸入所述真空镀膜腔体内与所述传送模块可拆卸传动连接;其特征在于,所述传送模块包括:螺杆,转动安装在所述样品台上,所述螺杆的螺纹作为物料槽;光杆,安装在所述样品台上位于所述螺杆的一侧以共同支撑物料;第二传动连接件,一端与所述螺杆传动连接,另一端与所述由所述传动连接件可拆卸传动连接;本发明可实现一次多面镀膜,无需翻面,减少开箱和再次抽真空时间,大大提高了效率,且整体结构简单、加工成本低。CN108085647ACN108085647A权利要求书1/1页1.一种用于真空镀膜的螺杆传送装置,包括:样品台,放置于真空镀膜腔体内部;传送模块,安装在所述样品台上用于将样品从上料区传送至镀膜区;动力源,固定在真空镀膜腔体外部;第一传动连接件,一端与所述动力源连接,另一端伸入所述真空镀膜腔体内与所述传送模块可拆卸传动连接;其特征在于,所述传送模块包括:螺杆,转动安装在所述样品台上,所述螺杆的螺纹作为物料槽;光杆,安装在所述样品台上位于所述螺杆的一侧以共同支撑物料;第二传动连接件,一端与所述螺杆传动连接,另一端与所述第一传动连接件可拆卸传动连接。2.如权利要求1所述的用于真空镀膜的螺杆传送装置,其特征在于,所述螺杆包括位于上料区的较小螺距段和位于镀膜区的较大螺距段。3.如权利要求2所述的用于真空镀膜的螺杆传送装置,其特征在于,所述较小螺距段的螺距为7~15mm。4.如权利要求2所述的用于真空镀膜的螺杆传送装置,其特征在于,所述较大螺距段的螺距为16~25mm。5.如权利要求1所述的用于真空镀膜的螺杆传送装置,其特征在于,所述螺杆和光杆设有多根,横向交叉并排布置,其中一根螺杆与所述第二传动连接件传动连接,相邻的螺杆通过传动件连接。6.如权利要求1所述的用于真空镀膜的螺杆传送装置,其特征在于,所述传动件为与对应螺杆同轴固定的直齿轮。7.如权利要求1所述的用于真空镀膜的螺杆传送装置,其特征在于,所述第二传动连接件包括:齿轮盒,与所述样品台固定连接;主动伞齿轮,安装在所述齿轮盒内;伞齿轮传动轴,一端与所述主动伞齿轮固定连接,另一端伸出所述齿轮盒与所述第一传动连接件可拆卸传动连接;从动伞齿轮,与所述螺杆同轴固定连接与所述主动伞齿轮啮合。8.如权利要求1所述的用于真空镀膜的螺杆传送装置,其特征在于,所述第一传动连接件包括:第一联轴器,与所述动力源连接且位于真空镀膜腔体外部;动密封机构,安装在真空镀膜腔体上且与所述第一联轴器连接;第二联轴器,与所述动密封机构连接且与所述伞齿轮传动轴可拆卸传动连接。9.如权利要求1所述的用于真空镀膜的螺杆传送装置,其特征在于,所述螺杆的末端设有下料口。10.如权利要求9所述的用于真空镀膜的螺杆传送装置,其特征在于,所述样品台的底部设有分布在所述传送模块两侧的滚轮,真空镀膜腔体的底面设有与所述滚轮配合的两条轨道,所述传送模块下方以及两条轨道之间为收料车通道。2CN108085647A说明书1/4页一种用于真空镀膜的螺杆传送装置技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜技术领域,特别涉及一种用于真空镀膜的螺杆传送装置。背景技术[0002]在工程领域中,机械传动主要有带传动、齿轮传动、涡轮蜗杆传动以及链传动等方式,各种传动方式在各个行业都得到广泛应用。真空镀膜是一种特殊的行业,需在真空环境下对产品进行镀膜防护,因此传送装置在材料选型、结构设计、动力传输方式等方面都受到高真空、高温等条件限制,如真空镀膜腔体内需无油,电机、电缆等元器件需耐高温等。[0003]真空镀膜相对于传统的电镀、化学镀等技术,实现了零排放、零污染,作为一种环境友好型的绿色表面防护技术,越来越受到企业青睐,进而取代电镀、化学镀等工艺。但真空镀膜设备造价成本高、自动化程度低