一种用于多晶硅的干燥装置及干燥方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115930555A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202211267042.2(74)专利代理机构深圳市铭粤知识产权代理有(22)申请日2022.10.17限公司44304专利代理师孙伟峰黄进(71)申请人青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司(51)Int.Cl.地址810007青海省西宁市东川工业园西F26B9/06(2006.01)宁经济技术开发区二期F26B21/00(2006.01)申请人青海芯测科技有限公司F26B21/04(2006.01)青海黄河上游水电开发有限责任公F26B3/02(2006.01)司国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司(72)发明人刘虎杜斌功魏强安生虎周国峰高鹏梁艳红井国升何强王泽飞权利要求书1页说明书4页附图1页(54)发明名称一种用于多晶硅的干燥装置及干燥方法(57)摘要本发明公开了一种用于多晶硅的干燥装置及干燥方法，所述干燥装置包括：鼓风单元、加热单元和箱体，鼓风单元将洁净的空气加压后鼓入到加热单元；加热单元对鼓入的空气进行加热形成热空气并将热空气通入箱体；箱体承载待干燥的多晶硅；箱体内部形成中空腔体结构，箱体内壁表面覆盖有防腐蚀的保护层，箱体上开设有进风口和出风口，出风口连接有负压单元；箱体还包括顶部设置的箱盖，箱盖使箱体呈密封状态。本发明提供的干燥装置及干燥方法，取消了原有的利用真空泵降低水的沸点并将蒸发的水分不断的抽出的方法，直接通过向多晶硅通入高温度的热空气，让高温度的热空气干燥多晶硅，提高了干燥效率同时降低干燥过程中的能耗。CN115930555ACN115930555A权利要求书1/1页1.一种用于多晶硅的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置包括：鼓风单元(1)、加热单元(2)和箱体(3)，所述鼓风单元(1)用于将洁净的空气加压后鼓入到加热单元(2)；所述加热单元(2)用于对鼓入的空气进行加热形成热空气并将热空气通入所述箱体(3)；所述箱体(3)用于承载待干燥的多晶硅；其中，所述箱体(3)内部形成中空腔体结构，所述箱体(3)的内壁表面覆盖有防腐蚀的保护层(31)，所述箱体(3)上开设有进风口(301)和出风口(302)，所述出风口(302)连接有负压单元(4)；所述箱体(3)还包括顶部设置的箱盖(32)，所述箱盖(32)使所述箱体(3)呈密封状态。2.根据权利要求1所述的多晶硅的干燥装置，其特征在于，所述鼓风单元(1)为鼓风机。3.根据权利要求1所述的多晶硅的干燥装置，其特征在于，所述加热单元(2)包括热电偶(21)和石英管(22)，所述石英管(22)一端连接所述鼓风单元(1)，所述石英管(22)另一端连接所述进风口(301)，所述热电偶(21)用于对所述石英管(22)进行加热。4.根据权利要求1所述的多晶硅的干燥装置，其特征在于，所述箱体(3)内部设有网格状的承载部件(33)，所述网格状的承载部件(33)远离所述箱体(3)内部底面，所述网格状的承载部件(33)用于承载待干燥的多晶硅。5.一种多晶硅的干燥方法，其特征在于，采用如权利要求1‑4任一所述的干燥装置，所述干燥方法包括如下步骤：S10、将待干燥的多晶硅置于箱体(3)中；S20、采用鼓风单元(1)将洁净的空气鼓入到加热单元(2)加热形成热空气；S30、将得到的热空气通入所述箱体(3)中，热空气将待干燥的多晶硅表面的水分汽化，达到干燥多晶硅的目的。6.根据权利要求5所述的多晶硅的干燥方法，其特征在于，所述热空气的温度为300℃～400℃。7.根据权利要求5所述的多晶硅的干燥方法，其特征在于，所述步骤S30中所述热空气通入所述箱体(3)后，一部分通过所述出风口(302)排出，一部分通过所述进风口(301)回流到所述加热单元(2)，经所述加热单元(2)加热后再次进入所述箱体(3)，以此循环。2CN115930555A说明书1/4页一种用于多晶硅的干燥装置及干燥方法技术领域[0001]本发明属于多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种用于多晶硅的干燥装置及干燥方法。背景技术[0002]多晶硅是集成电路产业和光伏产业的基础原材料。目前，制备多晶硅主要利用改良西门子法，该方法是在高温环境下利用三氯氢硅和氢气反应在表面沉积来制备多晶硅棒，然后对多晶硅棒进行破碎后再清洗后制得最终的产品。多晶硅利用清洗液清洗完毕后需要放置于干燥箱中进行干燥。目前，大部分硅块干燥工艺均采用真空干燥法，即将清洗完毕的硅块放置于一个方形或圆形的容器中，利用真空泵提供真空环境降低水的沸点，并将蒸发的水分不断的抽出，从而达到干燥的目的。[0003]采用上述所述的方式对硅块进行干燥往往效率不高，例如，20kg的硅块需要5h～10h才能完全干燥，且硅块粒径的越小，干燥时间越长。因