大口径平面光学元件抛光盘表面平整性在线检测系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102528639102528639B(45)授权公告日2014.07.23(21)申请号201210018648.2CN101246000A,2008.08.20,全文.CN201569420U,2010.09.01,全文.(22)申请日2012.01.20CN101033953A,2007.09.12,全文.(73)专利权人厦门大学US5741171A,1998.04.21,全文.地址361005福建省厦门市思明南路422号WO03072306A1,2003.09.04,全文.(72)发明人郭隐彪潘日张东旭杨峰US2006/0103839A1,2006.05.18,全文.陈梅云审查员王小兰(74)专利代理机构厦门南强之路专利事务所(普通合伙)35200代理人马应森(51)Int.Cl.B24B37/005(2012.01)(56)对比文件CN2455763Y,2001.10.24,说明书第20行至第5行，第14行至第7行、图1-5.CN101813467A,2010.08.25,说明书第30段.权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图1页附图1页(54)发明名称大口径平面光学元件抛光盘表面平整性在线检测系统(57)摘要大口径平面光学元件抛光盘表面平整性在线检测系统，涉及一种光学元件的检测。设有2个DSP摄像头、支撑架、数据传输装置和计算机；所述支撑架固定在防震块上，所述支撑架和防震块一起锁于机床床身上并处于竖直方向，所述2个DSP摄像头设于支撑架下方，2个DSP摄像头间的距离为人眼距离，每个DSP摄像头与水平方向呈5～10°角，2个DSP摄像头的重合拍摄区域径向长度为抛光盘的半径，通过设置抛光机床旋转轴的转速以及2个DSP摄像头同时拍摄的时间，产生2张不同角度的画面形成视差，然后通过数据传输装置将采集到的2张带有视差的图像输出至计算机进行处理。CN102528639BCN10258639BCN102528639B权利要求书1/1页1.大口径平面光学元件抛光盘表面平整性在线检测系统，其特征在于设有2个DSP摄像头、支撑架、数据传输装置和计算机；所述支撑架固定在防震块上，所述支撑架和防震块一起锁于机床床身上并处于竖直方向，所述2个DSP摄像头设于支撑架下方，2个DSP摄像头间的距离为人眼距离，每个DSP摄像头与水平方向呈5～10°角，2个DSP摄像头的重合拍摄区域径向长度为抛光盘的半径，通过设置抛光机床旋转轴的转速以及2个DSP摄像头同时拍摄的时间，产生2张不同角度的画面形成视差，然后通过数据传输装置将采集到的2张带有视差的图像输出至计算机进行处理；所述支撑架通过螺钉固定在防震块上。2CN102528639B说明书1/4页大口径平面光学元件抛光盘表面平整性在线检测系统技术领域[0001]本发明涉及一种光学元件的检测，尤其是涉及一种大口径平面光学元件抛光盘表面平整性在线检测系统。背景技术[0002]超精密表面在各工业领域中都有广泛的应用，目前主要集中在两个方面：一是以强激光、短波光学等为代表的工程光学领域，如：激光聚变系统、紫外光学系统、X射线光学系统、X射线激光系统、高温等离子体诊断等光学领域。在这类系统中，为了减小散射损失，提高抗破坏阈值所用的光学组件都应精密和光滑。二是以磁记录头、大规模集成电路基片等器件为主的电子工业领域。现代科学技术的不断发展对超精密表面的需求越来越多，与之相应的加工技术就称为超精密表面加工技术。近年来，超精密表面加工技术作为超精加工技术领域的一个重要分支得到了很大的发展，许多国家都纷纷投入大量人力、物力、财力开展这方面的研究工作，使其成为加工领域争先发展的热点。美国、英国、日本、德国、荷兰等发达国家的超精密加工技术居世界前列。超精密表面在现代光学及光电子学科领域的作用愈来愈重要，特别是在国家战略层面上。[0003]现今许多大型系统需要大量的大口径高精度平面光学元件就需要超精密表面加工技术进行加工。在大口径高精度平面光学元件的加工中，抛光是一种非常重要的技术，化学机械抛光(CMP)已经被广泛应用到大口径平面光学元件的抛光中，而抛光盘表面平整性在大口径平面光学元件的化学机械抛光中起着重要作用，加工区域中的抛光粉磨粒借助抛光盘上粘贴的抛光垫的支撑作用，对工件表面刮擦来实现材料去除。因而，当抛光垫粘贴不均匀导致抛光盘表面不平整出现凹凸不平的状况时会严重影响工件的加工质量。[0004]中国专利200580033336.7公开一种自动3D成像的方法。发明内容[0005]本发明的目的在于针对大口径平面光学元件抛光中抛光垫粘贴不均匀造成抛光盘表面不平整而出现凹凸不平最终影响工件加工质量等