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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102623375A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102623375A(43)申请公布日2012.08.01(21)申请号201210068623.3(22)申请日2012.03.15(71)申请人哈尔滨工业大学地址150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号(72)发明人刘延杰吴明月荣伟彬孙立宁(74)专利代理机构哈尔滨市松花江专利商标事务所23109代理人刘同恩(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)F16H37/02(2006.01)F16H25/22(2006.01)权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书55页页附图附图66页(54)发明名称一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构(57)摘要一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构,它涉及一种半导体硅片传输机器人制造领域,以解决现有Z轴传动升降机构存在结构受力状态不好、滚珠导轨产生较大的微观变形的问题。上安装盖与下安装座上下正对设置,Z轴驱动装置组件与下安装座连接,预紧轮支撑架套装在Z轴驱动装置组件上,预紧轮支撑架与下安装座连接,三个丝杠传动机构沿同一圆周均布设置在上安装盖与下安装座之间,同步齿传动带的中心端套装在同步传动主动齿轮上,同步齿传动带的三个外侧端分别套装在三个同步传动被动齿轮上,三个滚珠丝母分别与三个传动丝杠螺纹连接,下深沟球轴承安装在下安装座的下轴承安装孔内,上深沟球轴承安装在上轴承安装孔内。本发明用于硅片传输机器人上。CN1026375ACN102623375A权利要求书1/2页1.一种能够平衡受力状态的Z轴升降机构,其特征在于:所述Z轴升降机构包括下安装座(1)、Z轴驱动装置组件(2)、预紧轮支撑机构(3)、同步齿传动带(7)、丝母传动机构(8)、上安装盖(9)、两个连接板(6)、三个丝杠传动机构(4),Z轴驱动装置组件(2)包括Z轴电机座(10)、编码器定位管(12)、编码器(14)、Z轴伺服电机(15)、磨擦式制动器(17)、同步传动主动齿轮(19)和连接板(20),所述Z轴伺服电机(15)轴的上端为输出轴(15-1)、下端为电机轴(15-2),所述Z轴伺服电机(15)安装在Z轴电机座(10)内,且Z轴伺服电机(15)的输出轴(15-1)位于Z轴电机座(10)的外部,输出轴(15-1)的上端设有传动外齿(15-1-1),所述磨擦式制动器(17)和同步传动主动齿轮(19)由下至上依次安装在Z轴伺服电机(15)的输出轴(15-1)上,且同步传动主动齿轮(19)的中心内齿与传动外齿(15-1-1)啮合,连接板(20)安装在同步传动主动齿轮(19)的端面上,所述编码器(14)设置在Z轴电机座(10)内,且编码器(14)安装在Z轴伺服电机(15)上的电机轴(15-2),编码器定位管(12)设置在Z轴电机座(10)外面,且编码器定位管(12)设置在编码器(14)上的弹性定位片(14-1)与Z轴电机座(10)下端的法兰之间;预紧轮支撑机构(3)包括预紧轮支撑架(24)、预紧轮支撑架上盖(25)、三个预紧轮滑动架机构(27),预紧轮支撑架上盖(25)安装在预紧轮支撑架(24)的上端面上,三个预紧轮滑动架机构(27)均布设置在预紧轮支撑架上盖(25)的上端面上,且每个预紧轮滑动架机构(27)安装在预紧轮支撑架上盖(25)上,每个预紧轮滑动架机构(27)包括预紧轮定位块外板(31)、预紧轮定位块(33)、预紧轮定位滑块(34)、预紧轮转动架支撑轴(35)、预紧轮转动架(37)、两个推力顶丝(28)、两个锁紧螺母(29)和两个预紧轮机构(38),预紧轮定位块(33)的上端面上设有T形槽(33-1),预紧轮定位滑块(34)的下端设有与T形槽(33-1)相配合的T形头(34-1),T形头(34-1)与T形槽(33-1)配合安装,预紧轮定位块外板(31)安装在预紧轮定位块(33)的外侧端面上,两个推力顶丝(28)通过锁紧螺母(29)与预紧轮定位块外板(31)上的螺孔(3-1)螺纹连接,螺孔(3-1)与T形头(34-1)的端面正对,预紧轮定位滑块(34)上朝向Z轴中心的侧面上设有转动架安装槽(34-2),转动架安装槽(34-2)侧的预紧轮定位滑块(34)上设有旋转轴光孔(34-3),转动架安装槽(34-2)下侧的预紧轮定位滑块(34)上设有旋转轴螺纹孔(34-4),预紧轮转动架(37)设置在转动架安装槽(34-2)中,预紧轮转动架支撑轴(35)穿过旋转轴光孔(34-3)和预紧轮转动架(37)与旋转轴螺纹孔(34-4)螺纹连接,预紧轮转动架(37)上的两个对称的凸圆部上分别安装有预紧轮机构(38),且预紧轮机构(38)上的预紧轮轴(39)安装在与其对应的预紧轮转动架(37)上的凹孔(37-1)中;每个丝杠传动