太阳能电池用硅片扩散炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103556228103556228A(43)申请公布日2014.02.05(21)申请号201310509262.6(22)申请日2013.10.25(71)申请人乐山新天源太阳能科技有限公司地址614000四川省乐山市高新区建业大道9号(72)发明人陈五奎李军徐文州上官新龙陈磊冯加保(74)专利代理机构成都宏顺专利代理事务所(普通合伙)51227代理人王睿(51)Int.Cl.C30B31/06(2006.01)H01L31/18(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图1页附图1页(54)发明名称太阳能电池用硅片扩散炉(57)摘要本发明公开了一种能够降低生产成本的太阳能电池用硅片扩散炉。该太阳能电池用硅片扩散炉包括设置有炉门的炉体，炉体内设有石英舟，硅片放置于石英舟上，炉体上设有进气管和排放管，所述排放管上连接有抽风机，所述炉体上设置有开关装置，所述开关装置包括悬挂支撑架，所述悬挂支撑架上悬挂有可移动式支架和第一驱动装置，还包括旋转杆、推拉杆以及用于推动推拉杆移动的第二驱动装置。由于该结构利用了省力杠杆的结构，因此，在使炉门旋转时，所需的力较小，第二驱动装置承受的负荷较小，因而，不容易损坏第二驱动装置，能不需要频繁更换，减少了购买第二驱动装置所需的费用，可以大大降低生产成本。适合在太阳能电池硅片加工设备领域推广应用。CN103556228ACN1035628ACN103556228A权利要求书1/1页1.太阳能电池用硅片扩散炉，包括设置有炉门（1）的炉体（2），炉体（2）内设有石英舟（3），硅片放置于石英舟（3）上，炉体（2）上设有用于扩散气体进入炉体（2）内的进气管（4）和扩散处理后排放尾气的排放管（5），所述排放管（5）上连接有抽风机（6），所述炉体（2）上设置有用于打开或关闭炉门（1）的开关装置，其特征在于：所述开关装置包括悬挂支撑架（71），所述悬挂支撑架（71）上悬挂有可移动式支架（72）以及用于驱动可移动式支架（72）沿炉体（2）轴向方向移动的第一驱动装置（73），还包括旋转杆（74）、推拉杆（75）以及用于推动推拉杆（75）移动的第二驱动装置（76），所述悬挂支撑架（71）、可移动式支架（72）、第一驱动装置（73）、旋转杆（74）、推拉杆（75）以及第二驱动装置（76）均位于炉体（2）的轴向中心线上方，所述第二驱动装置（76）通过转轴固定在可移动式支架（72）上，所述旋转杆（74）的前端固定在炉门（1）上，末端通过转轴固定在可移动式支架（72）上，推拉杆（75）的前端通过转轴固定在旋转杆（74）上，末端与第二驱动装置（76）相连，当第二驱动装置（76）推动推拉杆（75）移动时，推拉杆（75）推动旋转杆（74）绕旋转杆（74）末端的转轴旋转从而带动炉门（1）旋转。2.如权利要求1所述的太阳能电池用硅片扩散炉，其特征在于：所述推拉杆（75）的前端通过转轴固定在旋转杆（74）的前端。3.如权利要求1或2所述的太阳能电池用硅片扩散炉，其特征在于：还包括压缩弹簧（77），所述压缩弹簧（77）的前端固定在旋转杆（74）上，末端固定在悬挂支撑架（71）上，并且所述压缩弹簧（77）与推拉杆（75）位于旋转杆（74）的同一侧。4.如权利要求3所述的太阳能电池用硅片扩散炉，其特征在于：所述压缩弹簧（77）的前端固定在旋转杆（74）的前端。5.如权利要求4所述的太阳能电池用硅片扩散炉，其特征在于：所述第一驱动装置（73）、第二驱动装置（76）均为气缸。6.如权利要求5所述的太阳能电池用硅片扩散炉，其特征在于：所述固定旋转杆（74）末端的转轴与固定第二驱动装置（76）的转轴分别设置在炉体（2）轴向中心线的两侧。2CN103556228A说明书1/4页太阳能电池用硅片扩散炉技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池硅片加工设备领域，尤其是一种太阳能电池用硅片扩散炉。背景技术[0002]太阳能电池原理主要是以半导体材料硅为基体，利用扩散工艺在硅晶体中掺入杂质：当掺入硼、磷等杂质时，硅晶体中就会存在着一个空穴，形成n型半导体；同样，掺入磷原子以后，硅晶体中就会有一个电子，形成p型半导体，p型半导体与n型半导体结合在一起形成pn结，当太阳光照射硅晶体后，pn结中n型半导体的空穴往p型区移动，而p型区中的电子往n型区移动，从而形成从n型区到p型区的电流，在pn结中形成电势差，这就形成了太阳能电池。[0003]太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。扩散炉一般包括设置有炉门的炉体，炉体内设有石英舟，硅片放置于石英舟上，炉体上设有用于扩散气体进入炉体内的进气管