TFT用玻璃基板.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115925234A(43)申请公布日2023.04.07(21)申请号202211639141.9(51)Int.Cl.(22)申请日2018.08.09C03B17/06(2006.01)C03B18/22(2006.01)(30)优先权数据C03B25/08(2006.01)2017-1554682017.08.10JPC03C15/00(2006.01)2018-1387992018.07.24JPC03C3/087(2006.01)(62)分案原申请数据C03C3/093(2006.01)201810902930.42018.08.09G02F1/1333(2006.01)(71)申请人AGC株式会社G02F1/1362(2006.01)地址日本东京(72)发明人小野良贵井川信彰伊贺元一榉田昌也(74)专利代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司11219专利代理师杨青安翔权利要求书2页说明书13页附图13页(54)发明名称TFT用玻璃基板(57)摘要本发明提供一种TFT用玻璃基板，其能够更高精度地和/或快速地形成元件或结构体。TFT用玻璃基板(1)由具备第1主面(11)和与第1主面(11)相反的第2主面(12)的矩形玻璃板(10)构成，其为大型的玻璃板(10)，在从玻璃板(10)的板厚方向进行观察的视野中，所述大型的玻璃板(10)具备第1主面(11)、与第1主面(11)相反的第2主面(12)、连接第1主面(11)与第2主面(12)的第1边(13)、以及与第1边(13)邻接的第2边(14)，并且第1边(13)和第2边(14)的长度为至少1200mm以上。作为第1截面(15)中的玻璃板(10)的板厚W的最大值Wmax与板厚W的最小值Wmin值之差的板厚公差小于6.26μm。CN115925234ACN115925234A权利要求书1/2页1.一种TFT用玻璃基板，其特征在于，所述TFT用玻璃基板由具备第1主面和与所述第1主面相反的第2主面的矩形玻璃板构成，在从所述玻璃板的板厚方向进行观察的视野中，所述玻璃板具有相互邻接的第1边和第2边，所述第1边的长度和所述第2边的长度为至少1200mm以上，在所述玻璃板的板厚方向的截面中的、沿着与所述第1边平行的直线的第1截面中，作为该玻璃板的板厚的最大值与板厚的最小值之差的板厚公差小于6.26μm，所述第1主面具有第1区域和第2区域，所述第1区域的氟含量与所述第2区域的氟含量之比大于1，所述第1区域为沿与所述玻璃板的所述第1边平行的方向以线状形成的、喷吹蚀刻气体后的区域，所述第2区域为未喷吹蚀刻气体的区域。2.根据权利要求1所述的TFT用玻璃基板，其中，所述第1区域的氟含量F1为0.5重量％≤F1≤5重量％，所述第2区域的氟含量F2为0≤F2≤0.15重量％。3.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，所述第1区域的面积小于所述第2区域的面积，所述第2区域的面积与所述第1区域的面积之比为3以上且300以下。4.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，沿与所述第1边平行的方向以线状形成所述第1区域。5.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，沿与所述第1边平行的方向以线状形成多个所述第1区域。6.根据权利要求4所述的TFT用玻璃基板，其中，在所述第1区域中，与所述第2边平行的方向的氟含量的梯度为0.001重量％/mm以上且0.15重量％/mm以下。7.根据权利要求5所述的TFT用玻璃基板，其中，在所述第1区域中，与所述第2边平行的方向的氟含量的梯度为0.001重量％/mm以上且0.15重量％/mm以下。8.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，在所述玻璃板的板厚方向的所有截面中，所述板厚公差小于7.12μm。9.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，在所述第1截面中，所述板厚的一阶微分值的绝对值的平均值小于1.72E‑02。10.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，在所述第1截面中，所述板厚的一阶微分值的绝对值的标准偏差为1.5E‑03以下。11.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，在所述第1截面中，所述板厚的二阶微分值的绝对值的最大值为6.0E‑03以下。12.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，在所述第1截面中，所述板厚的二阶微分值的绝对值的标准偏差为1.5E‑04以下。13.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，2CN115925234A权利要求书2/2页所述玻璃板的玻璃组成为无碱玻璃。14.根据权利要求1或2所述的TFT用玻璃基板，其中，所述玻璃板的所述第1主面和所述第2主面中的至少一个主面上不具有研磨划痕。15.根据权利要