一种光纤法珀传感器及其制作方法.pdf
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一种光纤法珀传感器及其制作方法.pdf
本发明公开了一种光纤法珀传感器及其制作方法,其中,光纤法珀传感器包括整体呈圆筒状的防护套管,所述防护套管的两端塞装有入射塞柱和反射塞柱,所述入射塞柱和反射塞柱之间间隔形成法珀腔;所述入射塞柱内埋设有同轴设置的入射光纤,所述反射塞柱朝向所述入射塞柱的一端为反射面。本发明光纤法珀传感器具有结构巧妙,制作工艺简单等有点,其制作方法具有利于提高生产效率,降低生产成本等优点。
光纤法珀压力传感器及其制作方法.pdf
本发明公开了一种制作简单、成本低廉的全石英光纤法珀高温压力传感器及其制作方法。通过机械加工方法对石英进行加工,通过高温焰火熔接,将带有光纤的套管管插入预留的孔径中熔接固定形成全石英法珀压力传感器。传感器各部分采用机械加工,膜片尺寸、法珀腔尺寸容易控制。采用石英材料加工传感器,使传感器温度系数小,能适应高温、强酸碱等复杂恶劣的环境。
一种基于光纤法珀的碳化硅高温压力传感器及其制作方法.pdf
本发明公开了一种基于光纤法珀的碳化硅高温压力传感器制作方法,a)选用4H‑SiC晶圆片作为碳化硅敏感结构的制作材料;b)制作带有刻蚀腔的晶片;c)敏感膜片的制作;d)激光划片:使用激光工艺对敏感膜片和带有刻蚀腔的基底进行单元切割;e)热压键合:使用单向热压炉对预键合好的碳化硅敏感结构进行热压键合;f)传感器封装:将热压键合好的碳化硅敏感机构使用碳化硅陶瓷封装夹具进行封装;一种基于光纤法珀的碳化硅高温压力传感器,包括碳化硅敏感结构、碳化硅陶瓷封装夹具、石英套管和光纤。本发明将敏感膜片和带有蚀刻腔的晶片均采用
一种基于法布里珀罗的光纤传感器及其应用.pdf
本发明提出一种基于法布里珀罗的光纤传感器及其应用,由第一单模光纤与第二单模光纤耦合构成,第一单模光纤的耦合端面和第二单模光纤的耦合端面分别从套管的两端插入套管内,第一单模光纤的耦合端面和第二单模光纤的耦合端面上均镀设高反射膜形成高反射面,两个高反射面之间设有谐振腔。应用基于法布里珀罗的光线传感器的频分复用系统包括基于法布里珀罗的光线传感器、耦合器、光电转换器以及相位解调器。本发明所述的基于法布里珀罗的光纤传感器及其应用具有结构简单合理、成本低、体积小、有效的保留了光在传感器中传输时的强度、提高感应的灵敏度
全石英光纤法珀振动传感器及其敏感单元的制备方法.pdf
本公开描述一种全石英光纤法珀振动传感器,包括敏感单元和光纤,敏感单元包括依次层叠的第一石英片、石英敏感膜片、以及第二石英片,在第一石英片与第二石英片之间形成有微腔,石英敏感膜片包括悬置于微腔且具有面向第二石英片的光反射面的质量块、以及由质量块向外周发散延伸且与第一石英片和第二石英片连接的多个梁结构,质量块感应于振动而在微腔内发生位移以使光反射面与光纤端面之间的距离发生变化,第二石英片具有与光反射面的中心对准的孔,光纤插入孔内。根据本公开,提供一种能够在高温环境下稳定工作的全石英光纤法珀振动传感器。