一种硅片生产用分片装置.pdf
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一种硅片生产用分片装置.pdf
本发明公开一种硅片生产用分片装置,包括基座、工作台和支撑架,所述基座上面设置有所述工作台,所述工作台侧面设置有伺服电机,所述伺服电机端部设置有坦克链,所述坦克链侧面设置有滑轨,所述滑轨上设置有所述支撑架,所述支撑架中部设置有步进电机。有益效果在于:本装置通过位移传感器、控制主机和伺服电机组成的反馈控制回路,位移检测器实时检测切割距离,控制主机控制实时切割距离与预定值进行对比,进而能够自动控制切割距离至预定值,代替了传统人们手动控制切割距离的方法,提高了生产效率,使用方便。
一种硅片分片装置.pdf
一种硅片分片装置,包括分片机构和供料槽;所述分片机构包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带,所述硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有气孔,该气孔通过管路与抽气装置连通;所述分片输送带的输送方向的前端设有滚轮;所述供料槽包括供料槽槽体和水泵,所述供料槽槽体设有溢流口,该溢流口通过管路与一储液槽连通;所述供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台;所述承托平台对应所述分片输送带设置。本发明在分片时,具有分片效率高、对硅片损害小的优点。
硅片分片装置.pdf
硅片分片装置,包括分片机构和供料槽;分片机构包括硅片分片机构本体,该硅片分片机构本体向下设有两个平行且间隔设置的分片输送带,硅片分片机构本体朝向所述分片输送带设有抽气气孔,该抽气气孔通过管路与抽气装置连通;硅片分片机构本体对应分片输送带的输送方向的前端设有滚轮;硅片分片机构本体设有吹风方向朝向分片输送带的吹气气孔,该吹气气孔通过管路与吹风装置连通;供料槽包括供料槽槽体和水泵,供料槽槽体设有溢流口,该溢流口通过管路与一储液槽连通;供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台,该承托平台与一上下移动驱动装置的驱
一种湿硅片自动分片装置.pdf
一种湿硅片自动分片装置,包括水箱,水箱内设有硅片篮和升降机构,硅片篮用于倾斜放置硅片,升降机构由第一电机驱动;硅片篮顶端前后两侧分别设有一护板,护板上开设有通孔,通孔与一第一气体发生装置或一第一水压装置连接;硅片篮上方设有一与硅片平行设置的吸盘,吸盘上设有若干吸嘴,吸盘上穿设有一可上下活动的触针,触针与一控制模块连接,硅片篮底部开设有可容触针穿入的针孔,吸盘通过一支架滑动设于一导轨上,支架由一气缸驱动在导轨上滑动;水箱内设有一与硅片篮顶部平齐的滚轮,滚轮由第二电机驱动旋转,滚轮的转动方向与吸盘吸附到硅片后
硅片分片传送装置及硅片传送方法.pdf
本发明涉及一种传送装置和方法,具体为硅片分片传送装置,包括硅片组传送装置、竖向传送装置和水平过渡传送装置,竖向传送装置与水平过渡传送装置共用同一传送带,竖向传送装置与水平过渡传送装置的连接处有压轮;传送带上有通孔,竖向传送装置还有硅片吸盘,硅片吸盘安装在传送带的背面,硅片吸盘上有气孔,气孔与传送带上的通孔对应,气孔与抽气装置连接;硅片组传送装置末端还安装有推送喷头,推送喷头喷射方向朝向竖向传送装置。分片后的单片硅片由推送喷头推送到传送带上,传送带上的通孔通过负压将单片硅片吸附住,通过传送带完成全部传送,简