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具有升降功能的基板装载装置.pdf
2023-06-02
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小忆****ng
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具有升降功能的基板装载装置.pdf
本发明公开了一种具有升降功能的基板装载装置，包括底框、多根升降轴和多个支撑架，所述多根升降轴均垂直固定于所述底框上，所述多个支撑架层叠设置且相邻的所述支撑架间隔，每个所述支撑架连接于所述多根升降轴上，所述多根升降轴用于带动每个所述支撑架沿着垂直于所述底框的方向上往复运动。本发明公开的一种具有升降功能的基板装载装置，通过设置多个升降轴和多层支撑架，升降轴控制支撑件的上升和下降，方便装载和取出基板时调节相邻支撑架之间的间距，使得装载装置的整体结构更加紧凑，减少了装载装置的空间占用。
2023-06-02
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一种具有基板保护功能的基板装载装置和方法.pdf
本发明提供了一种具有基板保护功能的基板装载装置和方法，属于基板制造技术领域，具有基板保护功能的基板装载装置包括：清洗液容纳装置，适于容纳清洗和保护基板所用的清洗液；基板承载机构，具有适于承载水平姿态基板的载片台；载片台装载基板后，基板表面低于清洗液容纳装置中最大容纳的清洗液的上表面；本发明的具有基板保护功能的基板装载装置和方法，将基板卸载至载片台，基板浸泡在清洗液容纳装置内，使得基板能够得到充分的清洗，不会有抛光液的残留；同时，清洗液不直接喷射基板表面，不会对基板表面电路造成损坏。
2023-11-05
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具有缓降功能的升降装置.pdf
一种具有缓降功能的升降装置，其包括一螺杆，其底部接装一气密环，顶部则设有一齿轮组，该齿轮组包括连接于该螺杆顶部并与其形成连动的一第一从动轮，以及垂直地与该第一从动轮啮合并供一传动杆穿设的一主动齿轮；以及一杆套，其顶部接装供该螺杆螺接的一杆头，使该气密环能沿着该杆套的内壁旋转与位移，该杆套内底部套设一端塞，该端塞开设能让该气密环与该端塞之间的空气提供进出的一小气孔；该螺杆于下降过程中，通过该气密环与该端塞之间自动产生的气压变化，并依据该小气孔的排气速度，以提供该螺杆在该杆套内的缓降效果。
2023-08-28
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具有升降平移炉盖功能的装置.pdf
本发明公开了一种具有升降平移炉盖功能的装置，由两组平行设置的平移升降机构组成，平移升降机构通过一个气缸控制回转臂转动，回转臂转动带动对应的传动杆、连动杆的移动，从而带动两条链条升降，两组平移升降机构的四个链条对称的吊住炉盖，机构四个基座底部皆安装有单轨走轮和驱动单轨走轮转动的驱动电机。采用以上结构，通过两个气缸控制回转臂转动带动悬挂炉盖的四条链条升降，运动的幅度与速度基本一致，保证炉盖平稳升降的同时，炉盖不发生偏斜，保证在盖合过程中不会损坏到炉体周围设置的密封圈，延长密封圈的使用寿命，有助于除气工序的顺利
2023-06-17
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具有升降翻转功能的晾晒装置与方法.pdf
本发明公开了一种具有升降翻转功能的晾晒装置，其包括：龙门架；晾晒筒，其由透明材料制成，所述晾晒筒通过升降结构设置在所述龙门架上，所述晾晒筒的左端设置进出料口和进风口，所述晾晒筒的右端设置有排气口，所述排气口处设置有排气扇；翻转结构，其设置在所述龙门架上，并与所述晾晒筒连接，所述翻转结构驱动所述晾晒筒转动以将晾晒筒内的物料翻转。本发明还提供了一种具有升降翻转功能的晾晒装置用于晾晒物料的方法。本发明具有提高晾晒效率，以及具有造价低、不占地、节省劳动率的特点。
2023-06-28
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