毕业设计(论文)--基于超声振动一电镀金刚石线锯切割硬脆材料技术及机理研究.docx
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毕业设计(论文)--基于超声振动一电镀金刚石线锯切割硬脆材料技术及机理研究.docx
基于超声振动一电镀金刚石线锯切割硬脆材料技术及机理研究学生姓名:班级:130313指导老师:摘要:随着硬脆材料应用的口益广泛,对其切割加工技术的要求也越来越高。为解决硬脆材料切割加工工艺、特别是稀有贵重硬脆材料切割工艺中的某些技术问题。本文在系统总结了国内外大量文献资料的基础上,通过实验研究与理论分析相结合的方法,利用自行制造的完全具有自主知识产权的超声线切割加工机床进行了加工实验,对超声线切割加工机理与工艺进行了深入研究,丰富和完善了超声波加工技术现有的理论成果,该研究课题具有较大的理论和实际意义。研究
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基于超声振动一电镀金刚石线锯切割硬脆材料技术及机理研究学生姓名:班级:130313指导老师:摘要:随着硬脆材料应用的口益广泛,对其切割加工技术的要求也越来越高。为解决硬脆材料切割加工工艺、特别是稀有贵重硬脆材料切割工艺中的某些技术问题。本文在系统总结了国内外大量文献资料的基础上,通过实验研究与理论分析相结合的方法,利用自行制造的完全具有自主知识产权的超声线切割加工机床进行了加工实验,对超声线切割加工机理与工艺进行了深入研究,丰富和完善了超声波加工技术现有的理论成果,该研究课题具有较大的理论和实际意义。研究
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电镀金刚石线锯超声振动切割多晶硅材料工艺研究.docx
电镀金刚石线锯超声振动切割多晶硅材料工艺研究摘要:本文旨在探讨利用电镀金刚石线锯和超声振动切割多晶硅材料的工艺研究。通过实验研究,得出了以下结论:采用电镀金刚石线锯与超声振动相结合的方法对多晶硅材料进行切割,能够有效降低切割时产生的热量和应力,并可在保证切割质量的前提下提高切割速度。关键词:电镀金刚石线锯;超声振动;多晶硅;切割;工艺研究一、引言多晶硅材料的切割制备过程中,往往需要消耗大量的时间和能量。在晶片制备过程中,切割质量对于晶片的性能和可靠性都有着重要的影响。同时,硅材料的硬度很高,难以直接切割,