用于义齿的电容式压力传感器研究--毕业论文.doc
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用于义齿的电容式压力传感器研究--毕业论文.doc
用于义齿的电容式压力传感器研究摘要:本文介绍了一种以MEMS技术为基础的基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制,它是以电容式压力传感器的原理为基础,采用MEMS技术设计了用于义齿的电容式压力传感器,这是针对临床医疗中新型MEMS压力传感器。关键词:MEMS;压力传感器;义齿;一、引言近年来,随着MEMS技术研究的进一步发展和深入,MEMS器件在生物医学领的应用和研究越来越得到各国研究人员的重视。MEMS器件在生物医学领域中的次应用是70年代,在血压计中采用硅/石英微机械加工的压力传感器,在没有使
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