一种任意角度透过率测量装置及其测量方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108872160A(43)申请公布日2018.11.23(21)申请号201811039091.4(22)申请日2018.09.06(71)申请人北京创思工贸有限公司地址101113北京市通州区北京市通州工业开发区广源东街2号(72)发明人姜博宇郭会会(74)专利代理机构北京易光知识产权代理有限公司11596代理人李韵(51)Int.Cl.G01N21/59(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种任意角度透过率测量装置及其测量方法(57)摘要一种任意角度透过率测量装置，包括安装座，所述安装座上通过支撑架依次转动连接有第一联动齿轮、第二联动齿轮和第三联动齿轮，第一联动齿轮、第二联动齿轮和第三联动齿轮上分别固定连接有第一镜片座、第二镜片座和第三镜片座；所述第一联动齿轮与第二联动齿轮之间通过一对第四联动齿轮相连接，第二联动齿轮与第三联动齿轮之间通过一对第五联动齿轮相连接；所述第三镜片座一侧的安装座上安装有第四镜片座。本发明的有益效果是由于支持大范围内的角度调节，在测量不同入射角度透过率时可以大大降低工装制作和调试时间，并且随动的联动齿轮也可以进一步的降低多次调解带来的角度误差，测量更准确。CN108872160ACN108872160A权利要求书1/1页1.一种任意角度透过率测量装置，包括安装座(10)，其特征在于，所述安装座(10)上通过支撑架依次转动连接有第一联动齿轮(1)、第二联动齿轮(2)和第三联动齿轮(3)，第一联动齿轮(1)、第二联动齿轮(2)和第三联动齿轮(3)上分别固定连接有第一镜片座(5)、第二镜片座(6)和第三镜片座(7)；所述第一联动齿轮(1)与第二联动齿轮(2)之间通过一对第四联动齿轮(8)相连接，第二联动齿轮(2)与第三联动齿轮(3)之间通过一对第五联动齿轮(9)相连接；所述第三镜片座(7)一侧的安装座(10)上安装有第四镜片座(4)，所述第一镜片座(5)和第四镜片座(6)上均安装有表盘(11)。2.根据权利要求1所述的一种任意角度透过率测量装置，其特征在于，所述第一联动齿轮(1)、第二联动齿轮(2)和第三联动齿轮(3)的直径相等。3.根据权利要求1所述的一种任意角度透过率测量装置，其特征在于，两个所述第四联动齿轮(8)相啮合。4.根据权利要求3所述的一种任意角度透过率测量装置，其特征在于，两个所述第五联动齿轮(9)相啮合。5.根据权利要求1-4任一所述的一种任意角度透过率测量装置，其特征在于，所述第四联动齿轮(8)和第五联动齿轮(9)的直径均相等，且第四联动齿轮(8)直径小于第一联动齿轮(1)直径。6.一种任意角度透过率的测量方法，包括使用权利要求1所述的任意角度透过率测量装置，该方法包括以下步骤：(1)校准光路：根据表盘(11)上显示的入射角度，调整第四联动齿轮(8)，在第一镜片座(5)和第二镜片座(6)上加装未镀膜的补偿片，第一联动齿轮(1)和第二联动齿轮(2)使补偿片具有相同的入射角，同时第三镜片座(7)拥有相同的入射角，并且与第一镜片座(5)平行；(2)测试光路：将校准光路的未镀膜补偿片加装在第四镜片座(4)上，此时第一镜片座(5)、第二镜片座(6)和第三镜片座(7)的角度不再调整，待测样品放置在第四镜片座(4)上，待测样品根据计算单独调整角度，调整好光路，实现光路补偿的绝对透过率测试。2CN108872160A说明书1/3页一种任意角度透过率测量装置及其测量方法技术领域[0001]本发明涉及光学元件镀制薄膜检测技术领域，具体涉及一种任意角度透过率测量装置及其测量方法。背景技术[0002]目前对于光学元件镀制薄膜的检测主要利用分光光度计，利用透射率及反射率测量准确掌握各波段范围内薄膜材料的光学性能，目前对于Lambda950型分光光度计的非0°入射角透过率测试，仍然使用简单的固定工装，即使用45°角度垫板辅助测量，校准光路为样品池空测，测试光路防止待测样品。[0003]现阶段所使用的分光光度计测量系统是固定系统，只能实现特殊角度(0°45°)样品透射率和反射率的测量，且目前的检测方法校准光路与检测光路会引进过多的系统误差，严重影响光学薄膜在全波段下的检测。发明内容[0004]本发明的目的在于提供一种任意角度透过率测量装置及其测量方法，以解决上述背景技术中提出的问题。[0005]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：[0006]一种任意角度透过率测量装置，包括安装座，所述安装座上通过支撑架依次转动连接有第一联动齿轮、第二联动齿轮和第三联动齿轮，第一联动齿轮、第二联动齿轮和第三联动齿轮上分别固定连接有第一镜片座、第二镜片座和第三镜片座；所述第一联动齿轮与第二联动齿轮之间通过一对第四联动齿轮相