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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115962728A(43)申请公布日2023.04.14(21)申请号202211463572.4(22)申请日2022.11.21(71)申请人兰州空间技术物理研究所地址730010甘肃省兰州市城关区高新飞雁街100号(72)发明人史楷耿海李兴坤顾左何非贾艳辉张文涛李贺孙明明(74)专利代理机构北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙)11938专利代理师饶小平(51)Int.Cl.G01B11/16(2006.01)G06T7/00(2017.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法(57)摘要本申请涉及测量技术领域,具体而言,涉及一种离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法,包括:步骤1:构建测量系统;步骤2:调试相机;步骤3:打开离子推力器开始工作,通过控制软件使三个相机同步进行拍摄,每隔30秒完成一次图像拍摄采集,并同步对拍摄采集的图像数据进行处理;步骤4:连续采集图像,并同步进行图像数据处理,直至离子推力器关机并冷却至室温;步骤5:根据连续采集图像的数据处理结果,计算得到离子推力器工作状态栅极微小形变测量的结果。本申请实现了同时对一组数据的多维度重复测量,提升了测试精度,保证了相机在真空、等离子体环境中的长时间连续工作,可对离子推力器全工作过程数据进行采集,提升测试的可靠性。CN115962728ACN115962728A权利要求书1/1页1.一种离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法,其特征在于,基于三维数字图像散斑方法,包括如下步骤:步骤1:构建测量系统,将陶瓷探针安装于离子推力器栅极的测量位置,将离子推力器吊装在真空舱内,在离子推力器束流区外分别安装第一相机、第二相机和第三相机;步骤2:调试相机,在真空设备合仓前,对相机安装位置进行微调,每次连续拍摄10组静态照片,对图像数据进行处理,并计算位移值,当10组图像数据的位移值均小于10微米时,完成调试;步骤3:打开离子推力器开始工作,通过控制软件使三个相机同步进行拍摄,每隔30秒完成一次图像拍摄采集,并同步对拍摄采集的图像数据进行处理;步骤4:连续采集图像,并同步进行图像数据处理,直至离子推力器关机并冷却至室温;步骤5:根据连续采集图像的数据处理结果,计算得到离子推力器工作状态栅极微小形变测量的结果。2.根据权利要求1所述的离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法,其特征在于,步骤1中,所述陶瓷探针包括圆柱段和球形区域,所述球形区域上喷涂有散斑图像。3.根据权利要求2所述的离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法,其特征在于,所述陶瓷探针安装在栅极表面的待测位置处,并且球形区域不被遮挡。4.根据权利要求3所述的离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法,其特征在于,步骤1中,安装相机时,所述第一相机、所述第二相机和所述第三相机之间的夹角均为120°,与所述陶瓷探针的距离都相等,并且三个相机镜头的光轴均通过所述陶瓷探针球形区域的圆心。5.根据权利要求4所述的离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法,其特征在于,步骤1中,所述第一相机、所述第二相机和所述第三相机均设置在保护罩内,所述保护罩采用耐溅射金属材料制成,所述保护罩壳体上还设置有冷却循环水系统,所述冷却循环水系统的入口温度≤15℃。6.根据权利要求5所述的离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法,其特征在于,步骤2中,进行相机调试,对拍摄的图像进行数据处理时,选取陶瓷探针球形区域中心位置的像素点作为图像的种子点,子图像区域不大于球形区域所覆盖的像素区域,搜索方法为采取遍历陶瓷探针球形区域所覆盖区域的全部像素。7.根据权利要求1所述的离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法,其特征在于,步骤3中,每次进行图像拍摄采集时,选取两个相机的图像为一组数据,共获得三组数据。8.根据权利要求7所述的离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法,其特征在于,步骤3中,同步对拍摄采集的图像数据进行处理时,对每组数据依次采用滤波处理、整像素匹配以及亚像素计算的方式进行处理,数据处理结束后,将三组数据的处理结果进行比较,如果三组数据的处理结果之间的差值小于10um,则为有效数据。9.根据权利要求8所述的离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法,其特征在于,步骤4中,按照步骤3中的图像采集处理方式,连续采集多组有效数据,直至离子推力器关机并冷却至室温。10.根据权利要求9所述的离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法,其特征在于,步骤5中,计算多组有效数据的平均值,得到离子推力器工作状态栅极微小形变测量的结果。2CN115962728A说明书1/4页一种离子推力器工作状态栅极微小形变测量方法技术领域[0001]本申请涉及测量技术领域,具体