加料系统、加料方法及晶体生长系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115961354A(43)申请公布日2023.04.14(21)申请号202211627340.8(22)申请日2022.12.16(71)申请人三一硅能（株洲）有限公司地址412000湖南省株洲市石峰区铜塘湾街道铜霞路255号隆信国际1号楼518-50室(72)发明人汪火成石鹏飞张国久刘昌林(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司11002专利代理师贾莲莲(51)Int.Cl.C30B35/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图9页(54)发明名称加料系统、加料方法及晶体生长系统(57)摘要本发明涉及单晶硅的制备技术领域，提供一种加料系统、加料方法及晶体生长系统，包括加料机、定位机构和移动装置，加料机包括料仓、输料管和输料管对接机构，输料管第一端与料仓出料口连接；定位机构设在单晶炉侧向加料口前方预设位置；移动装置将加料机移至预设位置，加料机、移动装置和定位机构中一者设有定位检测元件，定位检测元件与移动装置和输料管对接机构通信连接；定位检测元件检测到加料机移动到位时，移动装置驱动加料机与定位机构连接，输料管对接机构驱动输料管第二端与侧向加料口对接。可实现加料机自动移动与定位、输料管与侧向加料口自动对接，无需人工操作，利于降低加料机定位、对接和加料时间，减少因人工操作造成的污染。CN115961354ACN115961354A权利要求书1/2页1.一种加料系统，其特征在于，包括：加料机，包括料仓、输料管和输料管对接机构，所述料仓用于盛装硅料，所述输料管的第一端与所述料仓的出料口连接，所述输料管对接机构用于驱动所述输料管的第二端与单晶炉的侧向加料口对接；定位机构，设置在所述侧向加料口前方的预设位置处，所述加料机能够与所述定位机构连接；移动装置，用于将所述加料机移动至所述预设位置处；其中，所述加料机、所述移动装置和所述定位机构的其中一者上设置有定位检测元件，所述定位检测元件用于检测所述加料机是否移动到位，且所述定位检测元件分别与所述移动装置和所述输料管对接机构通信连接；所述定位检测元件检测到所述加料机移动到位时，所述移动装置驱动所述加料机与所述定位机构连接，所述输料管对接机构驱动所述输料管的第二端与所述侧向加料口对接。2.根据权利要求1所述的加料系统，其特征在于，所述定位机构上设置有电气接口，所述加料机还包括电气对接机构，所述电气对接机构能够与所述电气接口对接并通信连接，且所述电气对接机构与所述输料管对接机构通信连接。3.根据权利要求1所述的加料系统，其特征在于，所述定位机构上设置有定位标识，所述移动装置上设置有所述定位检测元件，所述定位检测元件能够感应所述定位标识，所述定位检测元件感应到所述定位标识时，所述移动装置停止移动且驱动所述加料机与所述定位机构连接。4.根据权利要求1所述的加料系统，其特征在于，所述定位机构上设置有定位孔，所述移动装置能够驱动所述加料机的支撑脚伸入所述定位孔内。5.根据权利要求2所述的加料系统，其特征在于，所述输料管对接机构包括：导轨，与所述料仓连接；滑台，与所述导轨滑动连接，所述滑台与所述输料管的第二端连接；驱动装置，用于驱动所述滑台和所述导轨相对移动，所述驱动装置分别与所述定位检测元件和所述电气对接机构通信连接。6.根据权利要求5所述的加料系统，其特征在于，所述滑台上设置有连接组件，所述连接组件包括：支撑杆，所述支撑杆的底端与所述滑台连接；浮动接头，转动设置在所述支撑杆的顶端，且所述浮动接头与所述输料管的第二端连接。7.根据权利要求1所述的加料系统，其特征在于，所述加料机还包括：盖板，可开合地设置在所述料仓的进料口处；盖板驱动装置，用于驱动所述盖板开合，所述盖板驱动装置设置在所述料仓上。8.根据权利要求7所述的加料系统，其特征在于，所述盖板驱动装置包括：盖板连接组件，分别与所述盖板和所述料仓连接；伸缩驱动件，用于驱动所述盖板连接组件转动，所述伸缩驱动件的第一端与所述料仓转动连接，所述伸缩驱动件的第二端与所述盖板连接组件转动连接。9.一种加料方法，其特征在于，基于权利要求1‑8任意一项所述的加料系统，包括：2CN115961354A权利要求书2/2页控制移动装置驱动加料机移动至定位机构处，并根据定位检测元件的检测信息控制所述加料机与所述定位机构连接；控制输料管对接机构驱动输料管的第二端与单晶炉的侧向加料口对接；控制所述加料机向所述单晶炉内加料。10.根据权利要求9所述的加料方法，其特征在于，还包括：在所述控制移动装置驱动加料机移动至定位机构处之前，检测所述加料机的料仓内的硅料余量，并判定是否需要补加硅料；在所述加料机向所述单晶炉加料完成后，检测所述加料机的料仓内的硅料余量，并判定是否需