一种非接触式静电检测器校准装置及校准方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110308413A(43)申请公布日2019.10.08(21)申请号201910730011.8(22)申请日2019.08.08(71)申请人上海安平静电科技有限公司地址200233上海市徐汇区桂箐路69号27栋楼3层(72)发明人孙卫星杨庆瑞李鹏(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332代理人胡彬(51)Int.Cl.G01R35/00(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种非接触式静电检测器校准装置及校准方法(57)摘要本发明涉及仪器仪表的测试与计量技术领域，公开了一种非接触式静电检测器校准装置及校准方法。非接触式静电检测器校准装置包括支撑架、平板校准电极和测试臂；平板校准电极水平放置，且平板校准电极的一侧设有多个绝缘固定件，绝缘固定件的一端与平板校准电极连接，另一端与支撑架连接；测试臂上设有用于安装非接触式静电检测器的安装部，且安装部置于平板校准电极上方的中心位置。本发明提供的非接触式静电检测器校准装置及校准方法，在对非接触式静电检测器进行电压校准或零电位校准时，绝缘固定件上积累的静电荷不会对校准产生影响，提高了非接触式静电检测器校准的准确性。CN110308413ACN110308413A权利要求书1/2页1.一种非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，包括：支撑架(1)；平板校准电极(2)，所述平板校准电极(2)水平放置，且所述平板校准电极(2)的一侧设有多个绝缘固定件(3)，所述绝缘固定件(3)的一端与所述平板校准电极(2)连接，另一端与所述支撑架(1)连接；测试臂(4)，所述测试臂(4)上设有用于安装非接触式静电检测器的安装部(5)，且所述安装部(5)置于所述平板校准电极(2)上方的中心位置。2.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述支撑架(1)包括方形框架(11)及沿所述方形框架(11)的对角设置的第一支架(12)和第二支架(13)，所述支撑架(1)连接有地线。3.根据权利要求2所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述平板校准电极(2)的一侧设有五个所述绝缘固定件(3)；所述平板校准电极(2)的中心与所述绝缘固定件(3)的一端连接，所述绝缘固定件(3)的另一端与所述第一支架(12)和所述第二支架(13)的交叉处连接；所述平板校准电极(2)周向均匀分布四个所述绝缘固定件(3)，其中两个所述绝缘固定件(3)相对所述平板校准电极(2)的中心对称安装于所述第一支架(12)上，另两个所述绝缘固定件(3)相对所述平板校准电极(2)的中心对称安装于所述第二支架(13)上。4.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述绝缘固定件(3)包括圆柱形的四氟固定件。5.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述平板校准电极(2)的材质为不锈钢，且所述平板校准电极(2)的表面呈镜面。6.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述测试臂(4)的一端连接有驱动所述测试臂(4)升降的第一驱动组件(6)，所述测试臂(4)的另一端设置所述安装部(5)。7.根据权利要求6所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述第一驱动组件(6)包括电机(61)、丝杆和与所述丝杆匹配连接的丝母(62)，所述电机(61)的输出端与所述丝杆的一端连接，所述测试臂(4)与所述丝母(62)连接。8.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述支撑架(1)的外围设有防护架(7)，且所述防护架(7)与所述支撑架(1)一体连接，所述防护架(7)的高度高于所述平板校准电极(2)。9.根据权利要求1所述的非接触式静电检测器校准装置，其特征在于，所述平板校准电极(2)连接有直流高压电源(8)。10.一种非接触式静电检测器的校准方法，用于权利要求1-9任一项所述的非接触式静电检测器校准装置中，其特征在于，包括以下步骤：将非接触式静电检测器安装于测试臂(4)的安装部(5)，使所述非接触式静电检测器置于平板校准电极(2)的中部；调节所述非接触式静电检测器与所述平板校准电极(2)之间的测试距离；向所述平板校准电极(2)输出标准电压，用所述非接触式静电检测器检测所述平板校准电极(2)的电压，得到静电电压值；2CN110308413A权利要求书2/2页比较所述标准电压与所述静电电压值，得到校准误差。3CN110308413A说明书1/5页一种非接触式静电检测器校准装置及校准方法技术领域[0001]本发明涉及仪器仪表的测试与计量技术领域，尤其涉及一种非接触式静电检测器校准装置及校准方法。背景技术[0002]在静电防护测量和静电研究中广泛使用静电电