容栅传感器数学模型的研究.pdf

／吞一第卷第期仪器仪表学报．№年月．．。’一容栅传感器数学模型的研究马文徐科辜军／班晓勇丁合肥工业大学电气系引言容栅传感器是一种新型的变面积式大位移电容传感器被广泛应用于电子数显卡尺、高度尺和机床标尺中具有测量范围大、结构小巧、抗干扰能力强和耗能步等特点。。。但在以往研究中存在下列问题；提出的等效电路不尽合理没做过实测未对激励电压做准确、细致的定量分析未实测与拟合电容一位移之间的数量关系未对接收电极上的信号进行计算机分析为此本文采用理论计算和实际测试相结合的方法探讨其工作原理提出新的等效电路对激励电压、电容随位移变化关系以厦接收电极上的输出信号进行研究。等效电路容栅恃感器由动尺和定尺组成。动尺上有个发射电极分为组；有一个接收电极其宽度为发射电极组的倍。定尺上有传送电极和屏蔽电极在发射电极上加幅值和频率固定、相邻电极间相位差／的激励电压由于静电感应通过传送电极在接收电极上感应出电荷。发射极与接收极间的电容量随着它们与传送电极的相对位置而变化本文提．国家自然科学基金资助项目本文于年月收到。等效电路第期容栅传感器数学模受的研究