光栅结构及其制备方法、波导结构、显示面板、显示装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115980899A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202310151249.1(22)申请日2023.02.13(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号(72)发明人张栋梁郭康张笑李多辉宋梦亚段正陈宏谷新(74)专利代理机构北京市立方律师事务所11330专利代理师王存霞(51)Int.Cl.G02B5/18(2006.01)G02B6/00(2006.01)权利要求书3页说明书16页附图10页(54)发明名称光栅结构及其制备方法、波导结构、显示面板、显示装置(57)摘要本申请实施例提供了一种光栅结构及其制备方法、波导结构、显示面板、显示装置。该光栅结构包括：基板；闪耀光栅，设置在基板的一侧，闪耀光栅包括多个光栅子结构，多个光栅子结构沿平行于基板方向依次间隔设置；通过设定闪耀光栅的参数，使得闪耀光栅的一级衍射效率至多提升4倍；其中，闪耀光栅的参数包括周期、占空比、光栅子结构的材料、高度、倾角中的至少一个。本申请实施例能够提高光栅衍射效率。CN115980899ACN115980899A权利要求书1/3页1.一种光栅结构，其特征在于，包括：基板；闪耀光栅，设置在所述基板的一侧，所述闪耀光栅包括多个光栅子结构，多个所述光栅子结构沿平行于所述基板方向依次间隔设置；通过设定所述闪耀光栅的参数，使得所述闪耀光栅的一级衍射效率至多提升4倍；其中，所述闪耀光栅的参数包括周期、占空比、所述光栅子结构的材料、高度、倾角中的至少一个。2.根据权利要求1所述的光栅结构，其特征在于，还包括第一膜层，所述第一膜层设置在所述闪耀光栅远离所述基板的一侧；所述第一膜层包括多个第一子膜层，多个所述第一子膜层与多个所述光栅子结构一一对应设置，所述第一子膜层在所述基板上的正投影与所述光栅子结构在所述基板上的正投影重合；所述第一子膜层的折射率大于或等于所述光栅子结构的折射率；沿垂直于所述基板方向，所述第一子膜层具有第一高度。3.根据权利要求2所述的光栅结构，其特征在于，还包括第二膜层，所述第二膜层设置在所述第一膜层远离所述基板的一侧；所述第二膜层包括多个第二子膜层，多个所述第二子膜层与多个所述光栅子结构一一对应设置，所述第二子膜层在所述基板上的正投影与所述光栅子结构在所述基板上的正投影重合；所述第二子膜层的折射率小于所述第一子膜层的折射率；沿垂直于所述基板方向，所述第二子膜层具有第二高度。4.根据权利要求3所述的光栅结构，其特征在于，所述第一高度大于或等于10nm且小于或等于100nm；和/或，所述第二高度大于或等于50nm且小于或等于100nm。5.根据权利要求1至4中任一项所述的光栅结构，其特征在于，所述光栅子结构具有朝向所述基板的底壁、背离所述基板的顶壁、第一侧壁及第二侧壁，所述底壁通过所述第一侧壁与所述顶壁连接，所述顶壁通过所述第二侧壁与所述底壁连接；所述顶壁在所述基板上的正投影位于所述底壁在所述基板上的正投影内；其中：至少部分所述第一侧壁与预设平面之间呈直角或锐角设置；和/或，至少部分所述第二侧壁与预设平面之间呈锐角设置，所述预设平面平行于所述基板。6.根据权利要求5所述的光栅结构，其特征在于，所述第一侧壁包括第一壁段，所述第一壁段的一端与所述底壁连接，所述第一壁段的另一端与所述顶壁连接，所述第一壁段与所述预设平面之间具有第一夹角，所述第一夹角为直角或锐角；在垂直于所述基板的截面上，所述第一壁段的截面形状呈直线状、曲线状或弯折状；和/或，所述第二侧壁包括第二壁段，所述第二壁段的一端与所述底壁连接，所述第二壁段的另一端与所述顶壁连接，所述第二壁段与所述预设平面之间具有第二夹角，所述第二夹角为锐角；在垂直于所述基板的截面上，所述第二壁段的截面形状呈直线状、曲线状或弯折状。2CN115980899A权利要求书2/3页7.根据权利要求6所述的光栅结构，其特征在于，第一夹角大于或等于45°且小于或等于90°；和/或，第二夹角大于或等于10°且小于或等于50°。8.根据权利要求5所述的光栅结构，其特征在于，所述第一侧壁包括第一壁段和第三壁段，所述第一壁段的一端与所述顶壁连接，所述第一壁段远离所述顶壁的一端通过所述第三壁段与所述底壁连接；所述第一壁段与所述预设平面之间具有第一夹角，所述第一夹角为直角或锐角；在垂直于所述基板的截面上，所述第一壁段的截面形状呈直线状、曲线状或弯折状；所述第三壁段垂直于所述基板；和/或，所述第二侧壁包括第二壁段和第四壁段，所述第二壁段的一端与所述顶壁连接，所述第二壁段远离所述顶壁的一端通过所述第四壁段与所述底壁连接；所述第二壁段与所述预设平面之间具有第二夹角，所述第二夹角为锐角；在垂直于所述基板的截面上，所述第二壁段的