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基于数学建模要求下先进的提拉法控制系统研制.pdf

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：堑鱼皇堑：曼笪茎星盈基于数学建模要求下先进的提拉法控制系统研制著．．董淑梅闰建文李勇译．西安理工大学晶体生长设备研究所．西安理工大学水利水电学院．西安理工大学晶体生长设备研究所摘要：提出了在开发一种先进的直拉法晶体生长控制系统中占据重要地位的设备及工艺特征的下位机模型；分析所采集到的实验数据揭示出控制中的重要问题由此开发了一种新的控制结构；该模型是建立在常规控制结构和提出新的控制结构性能对比的基础上。关键词：计算机模拟：控制系统设计：生长模型：热传递：直拉法：半导体中图分类号：．文献标识码：文章编号：———