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一种晶体盘高速旋转清洗机.pdf
2023-05-31
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本发明涉及自动清洗机技术领域，具体涉及一种晶体盘高速旋转清洗机，包括机架、安装于机架的支撑架、安装于支撑架用于放置晶体盘的放置机构、安装于支撑架用于驱动放置机构的驱动机构及用于清洗晶体盘的清洗机构；所述清洗机构包括上部清洗装置及下部清洗装置；本发明采用了高速旋转驱动结构，驱动晶体盘旋转对晶体盘的双面进行清洗，高速旋转过程中通过上部清洗辊与下部清洗辊配合，将对晶体盘的双面进行高速旋转清洗，清洗效果好，高速旋转清洗更加彻底。
2023-05-31
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