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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111933562A(43)申请公布日2020.11.13(21)申请号202010886697.2(22)申请日2020.08.28(71)申请人恩纳基智能科技无锡有限公司地址214037江苏省无锡市金山北科技产业园C区1-8-101、C区1-8-201(72)发明人吴超曾义徐金万蒋星强宁(74)专利代理机构无锡华源专利商标事务所(普通合伙)32228代理人李珍聂启新(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/683(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图11页(54)发明名称一种高精度智能分选设备(57)摘要本发明涉及芯片分选技术领域,尤其是一种高精度智能分选设备,包括工作平台,所述工作平台上从左到右依次设置用来存放芯片的治具工位、用来翻转芯片的翻转工位和用来上料芯片的晶元工位,所述工作平台上还安装支撑架,支撑架布置在治具工位、翻转工位和晶元工位的同一侧,支撑架上安装有左右方向的Y轴线性导轨,Y轴线性导轨上移动安装有用于移载芯片的焊头组件,本申请通过焊头组件将晶元工位上的芯片移载至翻转工位,通过翻转工位对芯片进行翻转至预设状态,翻转到位以后,再利用焊头组件将翻转工位处翻转好的芯片移载至治具工位上,从而通过同一台设备实现芯片的翻转、传输,自动化程度较高,大大提高生产效率。CN111933562ACN111933562A权利要求书1/2页1.一种高精度智能分选设备,包括工作平台(1),其特征在于:所述工作平台(1)上从左到右依次设置用来存放芯片(10)的治具工位、用来翻转芯片(10)的翻转工位和用来上料芯片(10)的晶元工位,所述工作平台(1)上还安装支撑架(5),支撑架(5)布置在治具工位、翻转工位和晶元工位的同一侧,支撑架(5)上安装有左右方向的Y轴线性导轨(4),Y轴线性导轨(4)上移动安装有用于移载芯片(10)的焊头组件(3)。2.如权利要求1所述的高精度智能分选设备,其特征在于:所述工作平台(1)上布置翻转机构(2)构成翻转工位,翻转机构(2)包括底板(21),底板(21)固定在工作平台(1)上,底板(21)上安装XY轴电动滑台(22),XY轴电动滑台(22)的台面上固定电动旋转滑台(23),电动旋转滑台(23)的台面上固定电机(24),电机(24)的输出轴带动定位块(25)旋转,定位块(25)上开设真空吸附孔(251),真空吸附孔(251)连通真空泵,芯片(10)吸附固定在真空吸附孔(251)所在处,电机(24)带动定位块(25)和芯片(10)实现翻转。3.如权利要求2所述的高精度智能分选设备,其特征在于:所述定位块(25)包括基块(252)、四边形条块(253)和两个压块(254),基块(252)的边缘开设条形缺口且缺口的横截面为角形,条块(253)放置在缺口中并通过两个压块(254)压制固定,两个压块(254)分别通过螺钉连接的方式固定在基块(252)上,两个压块(254)的一端分别压制在条块(253)的两外侧面上,所述条块(253)的两外侧面之间的外部拐角处开设台阶(255),真空吸附孔(251)开设在台阶(255)的台面上,芯片(10)抵靠在台阶(255)上,基块(252)内部开设真空通道(256),真空通道(256)的外端连通真空泵,真空通道(256)的里端连通真空吸附孔(251)。4.如权利要求3所述的高精度智能分选设备,其特征在于:所述电动旋转滑台(23)的台面上固定垫块,垫块包括柱体(261)和悬臂(262),柱体(261)通过螺钉连接立式固定在电动旋转滑台(23)的台面上,悬臂(262)水平布置,悬臂(262)的一端固定在柱体(261)的上部侧壁上,悬臂(262)的另一端悬伸布置,电机(24)通过支架一(271)固定在悬臂(262)上,悬臂(262)上固定支架二(272),支架二(272)上固定轴承座(28),电机(24)的输出轴通过联轴器连接转轴,转轴自支架二(272)、轴承座(28)中穿过,转轴和轴承座(28)中的轴承构成转动配合,定位块(25)固定在转轴的外端。5.如权利要求4所述的高精度智能分选设备,其特征在于:所述电机(24)为双输出轴电机,电机(24)的另一个输出轴端部固定挡光片(291)以及相配合的光电传感器(292),光电传感器(292)通过安装板固定在支架一(271)上。6.如权利要求1所述的高精度智能分选设备,其特征在于:所述焊头组件(3)包括安装架一(31)、线性加旋转致动器(32)和真空吸嘴(33),安装架一(31)通过滑块一和Y轴线性导轨(4)构成Y轴向移动配合,线性加旋转致动器(32)固定在安装架一(31)上,线性加旋转致动器(32)的输出端朝下并在端部安装