一种硅片插片机用的供片机构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112103219A(43)申请公布日2020.12.18(21)申请号202011207508.0(22)申请日2020.11.03(71)申请人宁波丞达精机股份有限公司地址315400浙江省宁波市余姚市经济开发区城东新区冶山路科创中心4号楼一层(72)发明人付丞杨发军王文波徐庆锋赵东方(74)专利代理机构余姚德盛专利代理事务所(普通合伙)33239代理人戚秋鹏(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图9页(54)发明名称一种硅片插片机用的供片机构(57)摘要本发明公开了一种硅片插片机用的供片机构，包括底板、C形支架、传送机构、取料机构、举升机构、固定盘、转动机构、供料机构、限位机构、换位机构，所述底板的上侧侧壁固定连接有用于对所述取料机构进行支撑的C形支架，所述底板靠近取料机构的位置固定连接有用于对硅片进行运输的所述传送机构，所述底板远离所述传送机构的位置通过支撑架固定连接有用于对所述转动机构提供支撑作用的固定盘。通过槽轮盘带动转盘转动，实现转盘上六个工位间的转换，从而提高硅片的生产效率；通过供料机构对料盒进行供料，可以减少工人的劳动强度，只需保证上料箱内保持充足的硅片即可，同时限位机构保证了供料机构供料时的精度。CN112103219ACN112103219A权利要求书1/2页1.一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：包括底板（1）、C形支架（2）、传送机构（3）、取料机构（4）、举升机构（5）、固定盘（6）、转动机构（7）、供料机构（8）、限位机构（9）、换位机构（10），所述底板（1）的上侧侧壁固定连接有用于对所述取料机构（4）进行支撑的C形支架（2），所述底板（1）靠近取料机构（4）的位置固定连接有用于对硅片进行运输的所述传送机构（3），所述底板（1）远离所述传送机构（3）的位置通过支撑架固定连接有用于对所述转动机构（7）提供支撑作用的固定盘（6），所述固定盘（6）的侧壁转动连接有用于提供硅片的转动机构（7），所述固定盘（6）的上侧侧壁固定连接有用于对转动机构（7）进行供料的供料机构（8），所述底板（1）与所述供料机构（8）位于同一轴线的位置固定连接有用于对转动机构（7）进行限位作用的限位机构（9），所述转动机构（7）的上侧侧壁固定连接有多个对所述转动机构（7）进行换位的换位机构（10）。2.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述取料机构（4）包括驱动电机（401）、槽轮盘（402）、气缸（403）、移动板（404）、吸盘（405）和滑槽（406），所述驱动电机（401）固定连接于所述C形支架（2）的上侧侧壁，所述驱动电机（401）的输出端贯穿所述C形支架（2）的上侧侧壁并与所述槽轮盘（402）的上侧侧壁固定连接，所述槽轮盘（402）的侧壁均匀开设有六个所述滑槽（406），相邻两个滑槽（406）之间的所述槽轮盘（402）的上侧侧壁均固定连接有所述气缸（403），所述气缸（403）的伸缩端贯穿所述槽轮盘（402）的侧壁并与所述移动板（404）的上侧壁固定连接，所述吸盘（405）贯穿所述移动板（404）与所述槽轮盘（402）并与外接气泵固定连接。3.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述举升机构（5）包括推杆电机（501）、保持架（502）和顶板（503），所述保持架（502）固定连接于所述底板（1）的上侧侧壁上，所述推杆电机（501）固定连接于所述保持架（502）的下侧壁，所述推杆电机（501）的伸缩端贯穿所述保持架（502）的顶部侧壁并与所述顶板（503）的下侧壁固定连接设置，所述推杆电机（501）与控制器电性连接。4.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述转动机构（7）包括转盘（701）、限位架（702）、料盒（703）和挡块（704），所述转盘（701）与所述固定盘（6）的侧壁转动连接设置，所述转盘（701）的上侧面沿其周向方向均匀固定连接有六个所述限位架（702），所述转盘（701）靠近所述限位架（702）的侧壁开设有矩形开口，所述矩形开口的内侧侧壁滑动连接有所述料盒（703），所述料盒（703）的两侧侧壁均固定连接有所述挡块（704）。5.根据权利要求1所述的一种硅片插片机用的供片机构，其特征在于：所述供料机构（8）包括电机（801）、固定板（802）、螺杆（803）、推料块（804）、上料箱（805）、L形支撑架（806）、阻尼器（807）、固定杆（808）、弹簧（809）和挤压板（810），所述固定盘（6）靠近所述取料机构（4）的上侧侧壁固定连接有所述固定板（802）