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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114235827A(43)申请公布日2022.03.25(21)申请号202210054216.0(22)申请日2022.01.18(71)申请人奥谱天成(厦门)光电有限公司地址361021福建省厦门市软件园三期诚毅大街365号1503单元(72)发明人刘鸿飞刘罡贺文丰(74)专利代理机构深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司44504代理人罗炳锋(51)Int.Cl.G01N21/89(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种硅棒隐裂快速检测系统(57)摘要本发明涉及检测设备技术领域,具体为一种硅棒隐裂快速检测系统,包括底座,所述底座的顶部四个拐角处固定有支撑架,所述支撑架的顶部高度有检测台,所述检测台上设置有第一调节结构,所述螺纹块的顶部固定有立板,所述立板的顶部一侧设置有第二调节结构,所述丝杆螺母的一侧连接有连接架,所述连接架的底部固定有转动件,所述转动件的内部转动连接有连接件,所述转动件的一侧连接有第三电机,所述连接件的底部连接有检测仪主体,本发明通过设置的第一调节结构和第二调节结构可以对该检测仪主体进行横向以及纵向的调节,通过第三电机可以带动检测仪主体的进行旋转,提高了灵活性。CN114235827ACN114235827A权利要求书1/1页1.一种硅棒隐裂快速检测系统,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部四个拐角处固定有支撑架(101),所述支撑架(101)的顶部高度有检测台(102),所述检测台(102)上设置有第一调节结构(103),所述第一调节结构(103)包括第一电机(1031)、第一皮带轮(1032)、第二皮带轮(1033)、传动皮带(1034)、螺纹杆(1035)以及螺纹块(1036),所述螺纹块(1036)的顶部固定有立板(104),所述立板(104)的顶部一侧设置有第二调节结构(105),所述第二调节结构(105)包括第二电机(1051)、丝杆(1052)以及丝杆螺母(1053),所述丝杆螺母(1053)的一侧连接有连接架(201),所述连接架(201)的底部固定有转动件(202),所述转动件(202)的内部转动连接有连接件(203),所述转动件(202)的一侧连接有第三电机(204),所述连接件(203)的底部连接有检测仪主体(2),所述检测台(102)的顶部设置有对硅棒进行固定的夹持结构(3)。2.根据权利要求1所述的一种硅棒隐裂快速检测系统,其特征在于:所述第一电机(1031)的输出端连接于第一皮带轮(1032),所述第一皮带轮(1032)的一侧连接位于一侧的螺纹杆(1035),所述第二皮带轮(1033)的一侧连接位于另一侧的螺纹杆(1035),所述第一皮带轮(1032)和第二皮带轮(1033)之间通过传动皮带(1034)进行传动连接。3.根据权利要求1所述的一种硅棒隐裂快速检测系统,其特征在于:所述螺纹块(1036)通过内侧螺纹连接螺纹杆(1035)的外侧,且两根所述螺纹杆(1035)的整体长度一致。4.根据权利要求1所述的一种硅棒隐裂快速检测系统,其特征在于:所述第二电机(1051)的输出端连接于丝杆(1052)的一侧,所述丝杆螺母(1053)通过内侧螺纹连接于丝杆(1052)的外侧,所述丝杆螺母(1053)的一侧连接于连接架(201)。5.根据权利要求1所述的一种硅棒隐裂快速检测系统,其特征在于:所述连接件(203)整体呈倒T字型,所述连接件(203)的上部分和转动件(202)的内部转动连接,所述连接件(203)的下部分和检测仪主体(2)的顶部固定连接。6.根据权利要求1所述的一种硅棒隐裂快速检测系统,其特征在于:所述夹持结构(3)包括第四电机(301)、第一转动套(302)、第一支撑架(303)、第二支撑架(304)、第二转动套(305)以及轴承件(306),所述第四电机(301)的输出端连接于第一转动套(302),所述第二转动套(305)的右侧转动连接于轴承件(306)内部,所述第一转动套(302)和第二转动套(305)整体尺寸和硅棒的尺寸匹配。7.根据权利要求1所述的一种硅棒隐裂快速检测系统,其特征在于:所述检测仪主体(2)的内部设置有图像采集模块(205)、数据输入模块(206)以及处理模块(207),所述检测仪主体(2)还连接有外侧的显示装置(208)。2CN114235827A说明书1/3页一种硅棒隐裂快速检测系统技术领域[0001]本发明涉及检测设备技术领域,具体为一种硅棒隐裂快速检测系统。背景技术[0002]硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非