真空镀膜前热处理吹扫设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114351085A(43)申请公布日2022.04.15(21)申请号202111655565.X(22)申请日2021.12.30(71)申请人苏州吉恒纳米科技有限公司地址215000江苏省苏州市苏州工业园区科智路9号3幢(72)发明人李嘉马高何江海张军(74)专利代理机构苏州新知行知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32414代理人马素琴(51)Int.Cl.C23C14/02(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图7页(54)发明名称真空镀膜前热处理吹扫设备(57)摘要本发明涉及一种真空镀膜前热处理吹扫设备，包括柜体，柜体内设有工作台、吹扫机构、吸尘机构、升降机构和加热装置，工作台设置在柜体内下部位置，且由支撑架支撑，工作台上设有旋转组件，吹扫机构位于所述旋转组件上方，吸尘机构设置在吹扫机构一侧，吸尘机构和吹扫机构均与升降机构连接，升降机构位于柜体后侧壁上，加热装置设置在远离吸尘机构的柜体侧壁上。本发明通过旋转组件带动夹装的大盘支架旋转，加热装置进行加热，吹扫机构对大盘支架进行冷却吹扫，同时，吸尘机构进行灰尘收集，升降机构带动吹扫机构和吸尘机构同步升降，通过加热后迅速冷却吹扫的方式将大盘支架上涂层结合力不牢固的涂层剥离掉并被吸尘机构吸走。CN114351085ACN114351085A权利要求书1/1页1.一种真空镀膜前热处理吹扫设备，包括柜体，其特征在于：所述柜体内设有工作台、吹扫机构、吸尘机构、升降机构和加热装置，所述工作台设置在柜体内下部位置，且由支撑架支撑，工作台上设有旋转组件，所述吹扫机构位于所述旋转组件上方，所述吸尘机构设置在吹扫机构一侧，吸尘机构和吹扫机构均与升降机构连接，所述升降机构位于柜体后侧壁上，所述加热装置设置在远离吸尘机构的柜体侧壁上。2.根据权利要求1所述的真空镀膜前热处理吹扫设备，其特征在于：所述工作台中部向上凸出形成一安装块，所述安装块的中间开设有通孔，安装块两侧设有限位挡杆；所述柜体底面中间具有向上的凸起部分，所述支撑架设置在凸起部分上，以使凸起部分的两侧柜体底面形成可供升降搬运小车进出的通道。3.根据权利要求2所述的真空镀膜前热处理吹扫设备，其特征在于：所述旋转组件包括减速电机、主动齿轮、从动齿轮、同步带和旋转座，所述减速电机安装在工作台下方的支撑架上，减速电机的输出轴上安装主动齿轮，所述主动齿轮通过同步带与从动齿轮连接，所述从动齿轮安装在从动轴上，所述从动轴通过轴承安装在通孔上，其上端固定有旋转座；所述安装块上靠近旋转座的位置处设有光电传感器。4.根据权利要求1所述的真空镀膜前热处理吹扫设备，其特征在于：所述升降机构包括驱动电机、丝杆、导轨和滑块，所述驱动电机安装在柜体顶部，其输出轴连接丝杆，所述导轨设置在丝杆的两侧，所述丝杆的丝杆螺母上连接有滑块，所述滑块上连接有安装板。5.根据权利要求4所述的真空镀膜前热处理吹扫设备，其特征在于：所述丝杆的上、下端均设有限位开关。6.根据权利要求4所述的真空镀膜前热处理吹扫设备，其特征在于：所述吹扫机构包括吹扫头、支撑管和进气管，所述吹扫头安装在支撑管底端，所述支撑管的上部固定在一连杆的一端，所述连杆的另一端连接至安装板的上部，支撑管的上端连接进气管，所述进气管连接柜体外部的高压气源。7.根据权利要求4所述的真空镀膜前热处理吹扫设备，其特征在于：所述吸尘机构包括吸风件和风管，所述吸风件为一侧开口的壳体，吸风件开口侧形状呈内凹弧形，吸风件上自开口侧边沿向壳体内设置有若干隔板，壳体及相邻隔板形成吸风口，所述风管连接在壳体的顶面后侧位置，其末端伸出柜体顶面。8.根据权利要求7所述的真空镀膜前热处理吹扫设备，其特征在于：位于壳体中部的相邻两个隔板与壳体形成一敞口的吸风口，位该吸风口两侧的隔板分别与对应侧的隔板平行设置。9.根据权利要求1所述的真空镀膜前热处理吹扫设备，其特征在于：所述加热装置包括安装支架和位于安装支架上的红外加热灯，所述安装支架竖直固定在柜体侧壁上，其具有上端开口且延伸至下部的插槽，所述红外加热灯卡设在插槽中。10.根据权利要求1所述的真空镀膜前热处理吹扫设备，其特征在于：所述柜体的前端开口处设置有双开门，所述双开门的中段设有可视窗，所述可视窗的下方设有拉手。2CN114351085A说明书1/5页真空镀膜前热处理吹扫设备技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜前处理技术领域，尤其是一种真空镀膜前处理吹扫设备。背景技术[0002]目前，在装夹涂层工件的上方会放置挡尘盘或制作一些简易的挡尘薄片，然后所有的工件装夹好后会直接推进涂层炉内涂层。工装夹具大盘表面长时间的跟随涂层或维护不及时，其表面存有结合力不牢固的涂层附着，入炉后随着温度的上升和气压的波动，夹具大盘上