一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109943867A(43)申请公布日2019.06.28(21)申请号201910347052.9(22)申请日2019.04.28(71)申请人河南理工大学地址454003河南省焦作市高新区世纪大道2001号(72)发明人明平美赵小康闫亮张新民王日鑫郑兴帅秦歌王伟李欣潮(51)Int.Cl.C25D1/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置(57)摘要本发明公开了一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置，包括阳极、圆棒状阴极、驱动源、主槽、调节槽、含有柔性纤毛和夹板的柔性刷条、挂具；还包括含有保持架上板、支撑杆和保持架下板的保持架；所述的柔性刷条安设于保持架上板和保持架下板分别设有的方槽I和方槽II上；所述的柔性纤毛压贴在圆棒状阴极的表面上；所述的圆棒状阴极通过挂具与驱动源联接。此装置通过将柔性纤毛压贴在圆棒状阴极面上，在圆棒状阴极旋转和上下往复运动时，柔性纤毛将对圆棒状阴极面产生摩擦和刮擦作用，这不仅使阴极面扩散层变薄，沉积速度加快，为薄壁无缝圆管的电沉积过程提供了流场与电场分布均匀的电沉积环境，还能实现圆棒状阴极的自动定心，结构简单，易实现。CN109943867ACN109943867A权利要求书1/1页1.一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置，包括阳极（8）、圆棒状阴极（9）、驱动源（6）、主槽（1）、调节槽（2）、含有柔性纤毛（4-1）和夹板（4-2）的柔性刷条（4）、挂具（7），其特征在于：它还包括含有保持架上板（3-1）、支撑杆（3-2）和保持架下板（3-3）的保持架（3）；所述的支撑杆（3-2）的上端与下端分别与保持架上板（3-1）、保持架下板（3-3）固定联接；所述的保持架上板（3-1）位于保持架下板（3-3）的上方，且两者平行正对；所述的保持架上板（3-1）和保持架下板（3-3）的中心处分别设有圆形通孔I（3-1-2）和圆形通孔II（3-3-1），且圆形通孔I（3-1-2）和圆形通孔II(3-3-1）的中心轴线共线；所述的保持架上板（3-1）和保持架下板（3-3）分别设有方槽I（3-1-1）和方槽II（3-3-2）；所述的柔性刷条（4）竖直地安设于方槽I（3-1-1）和方槽II（3-3-2）上，且可沿圆形通孔I（3-1-2）和圆形通孔II（3-3-1）的径向方向滑动；所述的保持架（3）可拆卸地固定于主槽（1）的中心处；所述的圆棒状阴极（9）竖直地置于圆形通孔I（3-1-2）和圆形通孔II（3-3-1）中，三者的中心轴线重合；所述的阳极（8）固定于保持架（3）上；所述的保持架下板（3-3）的外缘区域规则地布排有微小通孔（3-3-3）；所述的柔性纤毛（4-1）压贴在圆棒状阴极（9）的表面上；所述的挂具（7）为电绝缘柔性线；所述的圆棒状阴极（9）通过挂具（7）与驱动源（6）联接。2.根据权利要求1所述的一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置，其特征在于：所述的方槽I（3-1-1）和方槽II（3-3-2）分别沿圆形通孔I（3-1-2）和圆形通孔II（3-3-1）的圆周方向等间隔布置。3.根据权利要求1所述的一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置，其特征在于：所述的柔性纤毛（4-1)的材质为耐酸碱腐的高分子材料。4.根据权利要求1所述的一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置，其特征在于：所述的挂具（7）与所述的圆棒状阴极（9）的端面圆心处连接。5.根据权利要求1所述的一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置，其特征在于：所述的圆棒状阴极（9）可同时做转动和上下往复移动的复合运动。6.根据权利要求1所述的一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置，其特征在于：所述的阳极（8）和圆棒状阴极（9）分别与所述的电铸电源（10）的正极与负极连接。7.根据权利要求1所述的一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置，其特征在于：所述的圆棒状阴极（9）完全浸没于电解液（11）中。8.根据权利要求1所述的一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置，其特征在于：所述的主槽（1）、调节槽（2）、保持架（3）和夹板（4-2）的材质均为耐酸碱腐蚀的电绝缘非金属材料。2CN109943867A说明书1/3页一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置技术领域[0001]本发明涉及一种电化学沉积装置，具体为一种用于电沉积薄壁无缝圆管的装置。背景技术[0002]电沉积金属层/件厚度分布的均匀性是电沉积业界主要关注的指标之一。研究表明，沉积金属层/件厚度分布特性主要取决于阴极表面的电场分布和流场分布状况。为此，业界常采取措施协同地改善阴极表面电场-流场的分布均匀性。专利号为201420591581.6的专利提出了一种用于电沉积的阴极移动装置，该专利通过驱使工件（阴极）作轨迹为圆的平面运