一种平面抛光装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110216560A(43)申请公布日2019.09.10(21)申请号201910489133.2B24B47/04(2006.01)(22)申请日2019.06.06(71)申请人浙江工业大学地址310014浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号(72)发明人周佩剑颜朝寿蒋豪杰郑水华牟介刚(74)专利代理机构杭州斯可睿专利事务所有限公司33241代理人王利强(51)Int.Cl.B24B27/00(2006.01)B24B7/22(2006.01)B24B41/06(2012.01)B24B55/00(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称一种平面抛光装置(57)摘要一种平面抛光装置，包括平行摆动机构和顶部摆动机构，所述平行摆动机构为曲柄摇杆机构，所述顶部摆动机构为曲柄滑块机构；所述平行摆动机构包括调速制动电机、主动轮、皮带、从动轮、支撑杆、连接杆和抓手，所述调速制动电机带动主动轮，主动轮通过皮带带动从动轮转动，两连接杆分别于主从动轮联接，每个连接杆另一端分别与抓手联接，形成曲柄摇杆机构，从而带动抓手在抛光盘上带动加工工件摆动；所述抓手呈圆弧状，两抓手的相对位置不变。本发明以曲柄摇杆为核心原理的摆动机构，配合上端的往复平动的抓手，使得工件在抛光盘上的运动更加复杂无序，从而使得工件的抛光精度更高，也使得抛光盘的研磨更加均匀，寿命更长。CN110216560ACN110216560A权利要求书1/1页1.一种平面抛光装置，其特征在于，所述抛光装置包括平行摆动机构和顶部摆动机构，所述平行摆动机构为曲柄摇杆机构，所述顶部摆动机构为曲柄滑块机构；所述平行摆动机构包括调速制动电机、主动轮、皮带、从动轮、支撑杆、连接杆和抓手，所述调速制动电机带动主动轮，主动轮通过皮带带动从动轮转动，两连接杆分别于主从动轮联接，每个连接杆另一端分别与抓手联接，形成曲柄摇杆机构，从而带动抓手在抛光盘上带动加工工件摆动；所述抓手呈圆弧状，两抓手的相对位置不变。2.如权利要求1所述的一种平面抛光装置，其特征在于，所述抓手呈圆心角为150°的圆弧状，尾部做一定的延长，并在延长杆上开出两个大小不同的孔，用于与支撑杆和连接杆的联接。3.如权利要求1或2所述的一种平面抛光装置，其特征在于，所述圆弧状抓手内环半径为r1，外环半径为r2，r1＜r2，并且r1、r2根据不同的抛光机，不同的抛光盘大小可取不同的值。4.如权利要求3所述的一种平面抛光装置，其特征在于，开口两端设有两个小孔，用于安装修整环，修整环可防止工件在加工运动时飞出抓手范围，保证工件在预定范围内完成加工。5.如权利要求1或2所述的一种平面抛光装置，其特征在于，针对不同工件和不同的抛光机，工件的摆角不同，曲柄与摇杆的长度满足：其中，为摇杆的摆动角，a为曲柄长度，c为摇杆长度。6.如权利要求1或2所述的一种平面抛光装置，其特征在于，所述顶部摆动机构包括转轮、可伸缩连杆、滑块、液压缸和工件夹具，所述转轮、可伸缩连杆和滑块组成曲柄滑块结构，电机带动转轮转动，通过可伸缩连杆带动滑块在滑轨上往复平动，滑块下部连接液压缸，液压杆底部连着工件夹具，液压缸配置控制系统，可根据工件厚度人工控制液压缸的升降，以调整工件与抛光盘的接触，以及设置压力，其中，滑块平移的长度l与抛光盘的之间D应满足以下关系：l≤kD其中k为系数，取0.75～0.85。7.如权利要求6所述的一种平面抛光装置，其特征在于，所述可伸缩连杆与支撑杆、抓手之间采用销轴联接。2CN110216560A说明书1/4页一种平面抛光装置技术领域[0001]本发明主要涉及平面抛光机领域，具体涉及一种平面抛光装置。背景技术[0002]现今的电子工艺产品如水晶振子基片、硅片、铌酸锂基片等，不仅对表面平整度有极高的要求，而且也要求基板的两端平行且不具有晶体取向误差，根据传统的抛光方法，抛光模具的表面似乎符合要求，但其表面形状易于更换，需要进一步修改，而且传统的抛光方法加工时，操作者的加工工艺更加严格，所以使用传统的抛光方法生产效率低，难度更大。因此，为了保证元件的性能和降低抛光成本，目前这些电子元件最终采用超精密抛光技术进行处理。[0003]超精密平面抛光机是用于各种精度要求很高的零件的加工机器，其工作时，电机带动主轴旋转，主轴再带动抛光盘旋转，而零件在抛光盘上做从动运动，但是其摩擦的轨迹比较单一，抛光效果不好，而且对抛光盘同一位置的磨损较严重，影响抛光盘的寿命。发明内容[0004]为了解决克服现有的平面抛光机的抛光效果不好、使用寿命较短的不足，本发明设计一种平面抛光装置，以曲柄摇杆为核心原理的摆动机构，配合上端的往复平动的抓手，使得工件在抛光盘上的运动更加复杂无序，从而使得