一种用于硅片加工的上料装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111252546A(43)申请公布日2020.06.09(21)申请号202010042523.8(22)申请日2020.01.15(71)申请人张利红地址741031甘肃省天水市麦积区五龙乡常家渠村一组(72)发明人张利红(74)专利代理机构北京艾皮专利代理有限公司11777代理人郭童瑜(51)Int.Cl.B65G47/91(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种用于硅片加工的上料装置(57)摘要本发明公开了一种用于硅片加工的上料装置，包括基台，所述基台顶部外壁两侧固定有支撑杆，且两个支撑杆顶端固定有同一个顶板，顶板底部外壁开有安装口，安装口相对两侧内壁转动安装有同一个螺杆，螺杆一端传动连接有驱动机构，所述安装口顶部内壁开有导向槽，且导向槽内滑动插接有导向块，导向块底部外壁两侧固定有滑块，两个滑块螺纹套接在螺杆上，且两个滑块底部固定有同一个连接板，所述连接板底部外壁固定有伸缩杆，且伸缩杆的延长杆底端固定有固定板，固定板底部固定有吸附机构，吸附机构顶部外壁与固定板之间固定有多个等距离分布的压缩弹簧。本发明能够避免吸盘与硅片初始接触力度过大，使得挤压作用力降低，提高对硅片的防护能力。CN111252546ACN111252546A权利要求书1/1页1.一种用于硅片加工的上料装置，包括基台（1），其特征在于，所述基台（1）顶部外壁两侧固定有支撑杆（2），且两个支撑杆（2）顶端固定有同一个顶板（4），顶板（4）底部外壁开有安装口，安装口相对两侧内壁转动安装有同一个螺杆（7），螺杆（7）一端传动连接有驱动机构，所述安装口顶部内壁开有导向槽（6），且导向槽（6）内滑动插接有导向块（10），导向块（10）底部外壁两侧固定有滑块（8），两个滑块（8）螺纹套接在螺杆（7）上，且两个滑块（8）底部固定有同一个连接板（9），所述连接板（9）底部外壁固定有伸缩杆（13），且伸缩杆（13）的延长杆底端固定有固定板（14），固定板（14）底部固定有吸附机构，吸附机构顶部外壁与固定板（14）之间固定有多个等距离分布的压缩弹簧（16），所述吸附机构顶部两侧固定有L板（15），且两个L板（15）分别活动卡接在固定板（14）两侧外壁上，其中一个L板（15）一侧固定有负压机构，负压机构与吸附机构固定连接。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述驱动机构包括电机（3），电机（3）的输出轴穿过安装口内壁与螺杆（7）固定连接。3.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述吸附机构包括真空箱（17），真空箱（17）底部外壁开有多个等距离分布的气孔，气孔内固定有吸盘（18）。4.根据权利要求3所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述负压机构包括固定架（19）和气泵（21），气泵（21）固定安装在固定架（19）上。5.根据权利要求4所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述气泵（21）的进气端固定有连接管（20），连接管（20）底端与真空箱（17）之间固定连接有同一个波纹管（22）。6.根据权利要求1-5任一所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述基台（1）底部外壁四个拐角处均固定有支撑腿（5）。7.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述导向块（10）两端外壁上还固定有插接柱（11），且插接柱（11）上套接有缓冲弹簧（12），缓冲弹簧（12）一端与导向块（10）固定连接，导向槽（6）相对两侧内壁开有与插接柱（11）规格相适配的插接柱槽。2CN111252546A说明书1/3页一种用于硅片加工的上料装置技术领域[0001]本发明涉及硅片上料设备技术领域，尤其涉及一种用于硅片加工的上料装置。背景技术[0002]硅也是极为常见的一种元素，而硅片则是硅元素经过一系列加工后形成的片状硅物质，其广泛应用在各个领域，而在硅片的生产加工中，需要将硅片从硅片盒内取出进行上料，从而满足后续的生产需求。[0003]经检索，中国专利申请号为CN208000899U的专利，公开了一种硅片加工用上料机构，包括横杆，所述横杆表面设置有导轨，且导轨表面滚动连接有安装板，所述安装板内表壁焊接有夹持板，且夹持板内表壁转动连接有辊轴，所述安装板外表面设置有液压缸，且液压缸通过液压伸缩杆与上料板连接，所述上料板两侧外表壁对称卡接有限位杆，所述上料板上表面两侧对称设置有四个真空泵，且四个真空泵通过真空管分别与上料板下表面的四个真空吸盘连接。上述专利中存在一些不足：在进行硅片吸附工作时容易产生硬性挤压，进而造成硅片破损。发明内容[0004]本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于硅片加