一种化学药剂清洗方法及化学药剂清洗装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113522867A(43)申请公布日2021.10.22(21)申请号202110715450.9(22)申请日2021.06.27(71)申请人陆文平地址350000福建省福州市仓山区上雁路56号金山碧水三期冬馨苑10座303单元(72)发明人陆文平(51)Int.Cl.B08B3/08(2006.01)B08B3/12(2006.01)B08B3/02(2006.01)B08B13/00(2006.01)F26B21/00(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图4页(54)发明名称一种化学药剂清洗方法及化学药剂清洗装置(57)摘要本发明涉及化学清洗技术领域，具体为一种化学药剂清洗方法及化学药剂清洗装置，所述一种化学药剂清洗装置包括工作台、壳体、机械手、承载盒、收纳罐、化学液储存罐以及箱体，所述工作台的下端设有支撑杆以及垫板，所述工作台的上端设有清洗槽、超声波控制器、冲洗槽以及风机、所述清洗槽的两侧设有超声波发生器，所述冲洗槽的两侧设有出风口，所述风机安装在冲洗槽的一侧，通过设有冲洗槽以及风机，使本结构能在化学清洗完毕后，进行清水冲洗以及烘干处理，并且通过设有的机械手，提高了本结构的自动化程度，通过设有的壳体，提高了本结构的防尘效果，从而提高了本结构的清洗质量。CN113522867ACN113522867A权利要求书1/2页1.一种化学药剂清洗装置，其特征在于，包括工作台(1)、壳体(24)、机械手(8)、承载盒(7)、收纳罐(19)、化学液储存罐(17)以及箱体(15)，所述工作台(1)的下端设有支撑杆(2)以及垫板(3)，所述支撑杆(2)安装在工作台(1)的边缘处，所述垫板(3)安装在支撑杆(2)的底端，所述工作台(1)的上端设有清洗槽(4)、超声波控制器(11)、冲洗槽(5)以及风机(6)、所述清洗槽(4)的两侧设有超声波发生器(12)，所述超声波控制器(11)安装在清洗槽(4)的一侧，并且与超声波发生器(12)之间设有导线连接，所述冲洗槽(5)的两侧设有出风口(20)，所述风机(6)安装在冲洗槽(5)的一侧，并且与出风口(20)之间设有导风管(16)连接，所述机械手(8)以及承载盒(7)均位于冲洗槽(5)的另一侧，所述收纳罐(19)、化学液存储罐(17)以及箱体(15)均位于垫板(3)的上端，并且所述收纳罐(19)的内壁上设有质量检测器，且所述收纳罐(19)与化学液储存罐(17)之间设有导流管(21)，所述导流管(21)上设有导流泵(18)，所述化学液储存罐(17)的上端设有化学液运输泵(31)，所述化学液运输泵(31)与清洗槽(4)之间设有化学液导管(14)，所述箱体(15)的内部设有废水罐(28)以及清水罐(29)，所述废水罐(28)与冲洗槽(5)之间设有第二排出管(22)，所述第二排出管(22)上设有阀门(23)，所述清水罐(29)的上端设有清水运输泵(30)，所述清水运输泵(30)与冲洗槽(5)之间设有清水导管(25)，所述壳体(24)安装在工作的上端，所述壳体(24)的一侧设有转门(26)。2.根据权利要求1所述的一种化学药剂清洗装置，其特征在于，所述工作台(1)上设有限位槽，所述承载盒(7)位于限位槽的内部。3.根据权利要求1所述的一种化学药剂清洗装置，其特征在于，所述清洗槽(4)的外壁上设有溢流槽(10)，且所述溢流槽(10)与收纳罐(19)之间设有溢流管连接。4.根据权利要求1所述的一种化学药剂清洗装置，其特征在于，所述清洗槽(4)以及冲洗槽(5)的底部均设有支撑块(13)。5.根据权利要求1所述的一种化学药剂清洗装置，其特征在于，所述壳体(24)的材质为钢化玻璃。6.根据权利要求1所述的一种化学药剂清洗装置，其特征在于，所述壳体(24)的下端设配合槽，所述工作台(1)的上端设有限位块(9)，所述限位块(9)位于配合槽的内部。7.根据权利要求1‑6任意一项所述的一种化学药剂清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步：打开转门(26)，将承载基板的承载盒(7)放入到限位槽中；第二步：启动机械手(8)，机械手(8)会将承载盒(7)放入到清洗槽(4)中；第三步；化学液运输泵(31)将化学液储存罐(17)中的化学液通过化学液导管(14)打入到清洗槽(4)中；第四步：超声波控制器(11)通过导线使超声波发生器(12)启动，然后对清洗槽(4)中的基板进行超声波清洗；第五步：过一段时间清洗完毕后，通过第一排出管(27)将清洗槽(4)内部的化学液排出；第六步：通过机械手(8)将清洗槽(4)中的承载盒(7)放入到冲洗槽(5)中；第七步：通过清水运输泵(30)将清水罐(29)内部的清水打入到冲洗槽(5)中，然后通过清水基板进行冲洗，冲