一种面板缺陷检测装置及检测方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113533351A(43)申请公布日2021.10.22(21)申请号202110958739.3(22)申请日2021.08.20(71)申请人合肥御微半导体技术有限公司地址230088安徽省合肥市高新区华佗巷469号品恩科技园1号楼(72)发明人杨朝兴(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332代理人侯军洋(51)Int.Cl.G01N21/88(2006.01)G01N21/958(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图11页(54)发明名称一种面板缺陷检测装置及检测方法(57)摘要本发明实施例公开了一种面板缺陷检测装置及检测方法。其中装置包括光源模块、分束模块、聚焦模块、光阑模块、成像模块及处理模块，光源模块包括多个平行设置的线状光源，光阑模块包括多个平行设置的透光区；线状光源用于出射检测光线，检测光线经过分束模块后入射至聚焦模块，聚焦模块用于将检测光线汇聚在待测面板的表面，返回的光线经过分束模块后入射至与线状光源共轭的透光区；成像模块的感光面朝向透光区，用于将接收到的光信号转换为电信号；处理模块与成像模块电连接，用于根据电信号检测待测面板的表面缺陷。本发明实施例的技术方案，可以降低面板缺陷检测装置对于面板背部污染和支撑杆接触区的误检率，有效提高面板生产检测的速度。CN113533351ACN113533351A权利要求书1/2页1.一种面板缺陷检测装置，其特征在于，包括光源模块、分束模块、聚焦模块、光阑模块、成像模块以及处理模块，所述光源模块包括多个平行设置的线状光源，所述光阑模块包括多个平行设置的透光区，所述透光区与所述线状光源关于所述聚焦模块一一共轭设置；所述线状光源用于出射检测光线，所述检测光线经过所述分束模块后入射至所述聚焦模块，所述聚焦模块用于将所述检测光线汇聚在待测面板的表面，所述待测面板的表面返回的光线经过所述分束模块后入射至与所述线状光源共轭的所述透光区；所述成像模块的感光面朝向所述透光区，用于将接收到的光信号转换为电信号；所述处理模块与所述成像模块电连接，用于根据所述电信号检测所述待测面板的表面缺陷。2.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，还包括移动模块，所述移动模块用于带动所述待测面板平移，和/或所述移动模块用于带动所述光源模块、所述分束模块、所述聚焦模块、所述光阑模块和所述成像模块平移，以实现所述待测面板的表面所有区域检测。3.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述光源模块包括多个平行且间隔设置的线状光源；所述光阑模块包括光栅光阑，所述光栅光阑包括交替排布的多个透光区和多个不透光区。4.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述光源模块包括多个平行且相邻设置的单色线状光源，至少两个相邻的所述单色线状光源出射光线的颜色不同；所述光阑模块包括多个平行且相邻设置的单色滤光片，所述单色滤光片仅透射与所述聚焦模块共轭位置处的所述单色线状光源的色光。5.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述成像模块、所述光阑模块、所述分束模块和所述聚焦模块沿第一方向共光轴设置，所述分束模块和所述光源模块沿第二方向共光轴设置，所述第一方向和所述第二方向交叉；所述光源模块出射的检测光线，经过所述分束模块反射后入射至所述聚焦模块，所述聚焦模块出射的所述待测面板的表面返回的光线，经过所述分束模块透射后入射至所述光阑模块。6.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述光源模块、所述分束模块和所述聚焦模块沿第一方向共光轴设置，所述成像模块、所述光阑模块和所述分束模块沿第二方向共光轴设置，所述第一方向和所述第二方向交叉；所述光源模块出射的检测光线，经过所述分束模块透射后入射至所述聚焦模块，所述聚焦模块出射的所述待测面板的表面返回的光线，经过所述分束模块反射后入射至所述光阑模块。7.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述分束模块包括半透半反镜。8.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述分束模块包括偏振分束镜以及位于所述偏振分束镜和所述聚焦模块之间的四分之一波片。9.根据权利要求1所述的面板缺陷检测装置，其特征在于，所述聚焦模块包括显微镜头，所述成像模块包括时间延迟积分相机传感器。2CN113533351A权利要求书2/2页10.一种面板缺陷检测方法，其特征在于，由权利要求1～9任一所述的面板缺陷检测装置执行，所述面板缺陷检测方法包括：线状光源出射检测光线；分束模块将所述检测光线传输至聚焦模块；聚焦模块将所述检测光线汇聚在待测面板的表面，所述待测面板的表面返回的光线经过所述分束模块后入射至与所述线状光源共轭的透光区；成像模块的感光面将接收到的光信