真空密封炉门的装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115424955A(43)申请公布日2022.12.02(21)申请号202210959478.1(22)申请日2022.08.11(71)申请人湖南艾科威智能装备有限公司地址410000湖南省长沙市望城经济技术开发区普瑞西路南侧金桥市场集群2区4栋16层1614号(72)发明人徐有根田杰成李克(74)专利代理机构北京奥肯律师事务所11881专利代理师王娜(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)F27D1/18(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称真空密封炉门的装置(57)摘要本发明公开了真空密封炉门的装置，包括水平移动模组、石英管、不锈钢炉门、两个心轴炉门支撑杆和两个碳化硅杆，水平移动模组的正面开设有水平滑槽，水平滑槽的内部滑动连接有螺母连接座，螺母连接座的底部固定安装有支撑底板，支撑底板顶端的中部固定安装有支撑垫板，支撑垫板顶端的四个边角处均固定安装有直线轴承，相对的两个直线轴承之间与对应的心轴炉门支撑杆活动连接，本发明在碳化硅杆外再套一层石英管套管，防止杂质进入工件，石英管套管引出不锈钢炉门，与密封波纹管通过密封圈抱轴密封，尼龙夹块用来夹住石英套管，防止石英套管被大气压入真空腔体内，铝套和弹簧共同作用，压住密封波纹管下侧的不锈钢炉门，防止不锈钢炉门倾斜。CN115424955ACN115424955A权利要求书1/1页1.真空密封炉门的装置，包括水平移动模组(1)、石英管(2)、不锈钢炉门(9)、两个心轴炉门支撑杆(11)和两个碳化硅杆(17)，其特征在于，所述水平移动模组(1)的正面开设有水平滑槽(3)，所述水平滑槽(3)的内部滑动连接有螺母连接座(4)，所述螺母连接座(4)的底部固定安装有支撑底板(5)，所述支撑底板(5)顶端的中部固定安装有支撑垫板(6)，所述支撑垫板(6)顶端的四个边角处均固定安装有直线轴承(7)，相对的两个所述直线轴承(7)之间与对应的心轴炉门支撑杆(11)活动连接，两个所述心轴炉门支撑杆(11)的一端均通过压块(18)与不锈钢炉门(9)连接，所述不锈钢炉门(9)与石英管(2)法兰连接，所述支撑底板(5)顶端的四个边角处均安装有水平调节顶丝(8)，相对的两个所述水平调节顶丝(8)之间与对应的碳化硅杆(17)活动连接，两个所述碳化硅杆(17)的中部均固定连接有尼龙夹块(15)，两个所述尼龙夹块(15)的一端连接有密封波纹管(16)，两个所述密封波纹管(16)的一端均通过密封圈(21)与不锈钢炉门(9)连接。2.根据权利要求1所述的真空密封炉门的装置，其特征在于：两个所述碳化硅杆(17)的一端延伸至石英管(2)的内部并连接有石英套管(22)，两个所述石英套管(22)分别延伸至对应的尼龙夹块(15)处并通过密封圈(21)与密封波纹管(16)连接。3.根据权利要求1所述的真空密封炉门的装置，其特征在于：所述水平移动模组(1)的底端固定安装有伺服电机(19)，所述伺服电机(19)的输出端连接有同步带(20)，所述同步带(20)与水平移动模组(1)内部的传动丝杆传动连接，所述水平移动模组(1)内部的传动丝杆与螺母连接座(4)传动连接。4.根据权利要求1所述的真空密封炉门的装置，其特征在于：两个所述尼龙夹块(15)的另一端连接有弹簧(14)，两个所述弹簧(14)的一端连接有铝套(13)。5.根据权利要求1所述的真空密封炉门的装置，其特征在于：两个所述心轴炉门支撑杆(11)的中部固定安装有矩形弹簧(12)。6.根据权利要求1所述的真空密封炉门的装置，其特征在于：所述支撑底板(5)的边角处固定安装有左右调节块(10)。2CN115424955A说明书1/3页真空密封炉门的装置技术领域[0001]本发明涉及一种密封炉门的装置，特别涉及真空密封炉门的装置，属于半导体真空退火炉技术领域。背景技术[0002]真空退火炉，主要适用于不锈钢拉深件如水暖器材、水胀件、销、医疗器械、不锈钢钉、不锈钢镙丝、压铆件、不锈钢轴承、表壳、表带、刀具、微型轴、自攻自钻、餐具等不锈钢制品在保护气氛控制下进行连续光亮退火、固溶、退磁及不锈钢淬火处理的多用炉。[0003]在真空退火炉使用过程中，对于炉门的密封至关重要，如何保证炉门的密封，是确保半导体质量的关键，然而现有的密封炉门的装置大都无法阻止大气压入真空腔体，导致密封性降低，且由于碳化硅杆的纯度不够，高温下有杂质析出，容易影响半导体工艺，为此，我们提供真空密封炉门的装置。发明内容[0004]本发明的目的在于提供真空密封炉门的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。[0005]为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：真空密封炉门的装置，包括水平移动模组、石英管、不锈钢炉门、两个心轴炉