一种抛光工件真空夹具自动调节装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105834900A(43)申请公布日2016.08.10(21)申请号201610278494.9(22)申请日2016.04.28(71)申请人浙江工业大学地址310014浙江省杭州市下城区朝晖六区潮王路18号(72)发明人计时鸣黄豆豆谭大鹏余昌利郑晨亮(74)专利代理机构杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213代理人吴秉中(51)Int.Cl.B24B41/06(2012.01)B24B49/16(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称一种抛光工件真空夹具自动调节装置(57)摘要本发明公开了一种抛光工件真空夹具自动调节装置，包括液压固定夹具模块、真空夹具模块和抽真空模块，真空夹具模块包括上夹具和下夹具，上夹具的底部设有上凹结构，下夹具的上设有下凸结构，上夹具的上凹结构与下夹具的上凸结构共同形成密封的空腔，圆形工件安装槽底部设有与空腔连通的若干通孔，下夹具的下凹结构底部设有用于连接抽真空模块的真空接口；抽真空模块包括气泵、真空管路和气压传感器；液压夹具固定模块包括固定支撑垫、液压夹具和若干提供辅助支撑力的浮动支撑；浮动支撑包括浮动支撑杆、支撑头、垫片、压缩弹簧和调节螺母。本发明结构简单紧凑，生产成本低，设计合理，便于装夹工件，可自动调节，使用范围广。CN105834900ACN105834900A权利要求书1/1页1.一种抛光工件真空夹具自动调节装置，其特征在于：包括液压固定夹具模块、真空夹具模块和抽真空模块，所述真空夹具模块包括上夹具(7)和下夹具(1)，上夹具(7)上端设有用于安装抛光工件(8)的圆形工件安装槽，上夹具(7)的底部设有上凹结构，下夹具(1)的上端设有与所述上凹结构相配合的下凸结构，上夹具(7)的上凹结构与下夹具(1)的上凸结构共同形成密封的空腔，所述圆形工件安装槽底部设有与所述空腔连通的若干通孔(9)，所述下夹具(1)的下凹结构底部设有用于连接抽真空模块的真空接口(10)；所述抽真空模块包括气泵(4)、真空管路(16)和气压传感器(17)，气压传感器(17)设置在真空管路(16)上，气泵(4)通过真空管路(16)连接真空接口(10)；所述液压夹具(3)固定模块包括固定支撑垫(2)、液压夹具(3)和若干提供辅助支撑力的浮动支撑，所述液压夹具(3)包括设置在上夹具(7)周围的多个，液压夹具(3)通过固定支撑垫(2)固定在下夹具(1)上，液压夹具(3)的头部与上夹具(7)贴合并用于将上夹具(7)向下压紧；所述浮动支撑包括浮动支撑杆、支撑头(5)、垫片(12)、压缩弹簧(6)和调节螺母(13)，所述下夹具(1)上设有通孔(9)，浮动支撑杆穿过所述通孔(9)并固接直径大于所述通孔(9)的支撑头(5)，所述支撑头(5)的上端与上夹具(7)的底面贴合，所述支撑头(5)与下夹具(1)之间的浮动支撑杆上套装有压缩弹簧(6)；伸出所述下夹具(1)下端的浮动支撑杆上从上至下依次装有垫片(12)和调节螺母(13)。2.根据权利要求1所述的一种抛光工件真空夹具自动调节装置，其特征在于：所述下夹具(1)上安装有传感器固定座(14)，接近传感器(15)固定在传感器固定座(14)上。3.根据权利要求1所述的一种抛光工件真空夹具自动调节装置，其特征在于：所述通孔(9)均布在与圆形工件安装槽同轴心的多个不同直径的圆周上。4.根据权利要求1所述的一种抛光工件真空夹具自动调节装置，其特征在于：所述上夹具(7)的上凹结构与下夹具(1)的上凸结构通过密封垫(11)进行密封。2CN105834900A说明书1/3页一种抛光工件真空夹具自动调节装置技术领域[0001]本发明涉及超精密加工技术领域，更具体的说，尤其涉及一种抛光工件真空夹具自动调节装置。背景技术[0002]气-液-固三相磨粒流抛光加工新方法，利用多向注入方法在抛光加工工具和工件表面之间形成的大面积微距缝隙中驱动形成一种高速湍流状态的旋流流场，此旋流流场中的微气泡在掺气量和流速的控制下可以以适当的方式溃灭，溃灭过程对附近的磨粒产生加速推动作用，两者共同结果导致所述磨粒运动方向呈现较大的随机性，所述磨粒与工件的加工表面凸起峰接触几率大幅提高，同时所述磨粒对所述工件的加工表面凸起峰作用力也大幅提高，由此大幅度提高了磨粒流抛光的效率，并且在提高抛光效率的同时，由于流体的柔性缓冲特性，可以避免所述磨粒的硬性压入造成所述工件的加工表面损伤。[0003]此抛光加工方法的实验过程中，其内部抛光加工工具和工件表面之间形成的大面积微距缝隙的关键在于抛光加工工件的固定，而抛光加工工件的固定主要取决于夹具的设计和控制，装夹工件的夹具决定着工件在抛光加工中能不能达到精度的提高，否则工件与抛光加工工具不能保证平行