石墨盘烘烤夹具及烘烤装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114199031A(43)申请公布日2022.03.18(21)申请号202210154369.2(22)申请日2022.02.21(71)申请人华芯半导体研究院（北京）有限公司地址101300北京市顺义区中关村科技园顺义园临空二路1号申请人华芯半导体科技有限公司(72)发明人谷礼杰尧舜胡斌刘晨晖董国亮康联鸿汤秀娟(74)专利代理机构北京中知法苑知识产权代理有限公司11226代理人李明赵吉阳(51)Int.Cl.F27D5/00(2006.01)F27B17/00(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图5页(54)发明名称石墨盘烘烤夹具及烘烤装置(57)摘要本申请公开了一种石墨盘烘烤夹具及烘烤装置，所述石墨盘烘烤夹具包括烘烤架(1)，所述烘烤架(1)上安装有多个横梁(2)，每个所述横梁(2)上均设有凹槽(3)，对应所述凹槽(3)构成石墨盘(7)的圆周边；所述烘烤架(1)上还设有两组平行相对的长通孔(4)，所述横梁(2)的两端分别设于一所述长通孔(4)内，在外力作用下，所述横梁(2)旋转和/或沿所述长通孔(4)移动，以调整所述圆周边的半径。本申请实施例的石墨盘烘烤夹具，其烘烤架上设有可供横梁移动和选择的长通孔，横梁能够通过旋转和/或移动来调整支撑角度和支撑位置，从而可以适用于不同半径长度和不同形状的石墨盘。CN114199031ACN114199031A权利要求书1/1页1.一种石墨盘烘烤夹具，包括烘烤架(1)，所述烘烤架(1)上安装有多个横梁(2)，每个所述横梁(2)上均设有凹槽(3)，对应所述凹槽(3)构成石墨盘(7)的圆周边；其特征在于：所述烘烤架(1)上还设有两组平行相对的长通孔(4)，所述横梁(2)的两端分别设于一所述长通孔(4)内，在外力作用下，所述横梁(2)旋转和/或沿所述长通孔(4)移动，以调整所述圆周边的半径。2.如权利要求1所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述横梁(2)包括：梁本体(21)，所述凹槽(3)设于所述梁本体(21)上；导向杆(22)，每个所述梁本体(21)的两端均同轴连接所述导向杆(22)，所述横梁(2)通过所述导向杆(22)设于所述长通孔(4)内；紧固件(23)，所述紧固件(23)设于所述导向杆(22)上，用于将所述横梁(2)固定在所处位置。3.如权利要求2所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述导向杆(22)穿设在所述长通孔(4)内，所述紧固件(23)设于在所述导向杆(22)穿过所述长通孔(4)的一端。4.如权利要求3所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述紧固件(23)包括紧固螺栓，所述紧固螺栓套设于所述导向杆(22)穿过所述长通孔(4)的一端。5.如权利要求1所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述横梁(2)的两端设有导向板(5)，所述导向板(5)与所述烘烤架(1)间隙配合。6.如权利要求1所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，每组所述长通孔(4)包括上通孔(41)和下通孔(42)；其中：所述下通孔(42)设于所述圆周边的圆心下方，且水平设置，部分所述横梁(2)的设于所述下通孔(42)内；所述上通孔(41)对称的设于所述圆周边的圆心两侧，且向上弯曲设置，其余所述横梁(2)对称的设于所述上通孔(41)内。7.如权利要求6所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述上通孔(41)内对称的设有两个所述横梁(2)；所述下通孔(42)内对称的设有两个所述横梁(2)。8.如权利要求6所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述上通孔(41)包括弧形段(411)和水平段(412)，所述水平段(412)对称的设于所述弧形段(411)的侧面，且所述水平段(412)与所述弧形段(411)连通。9.如权利要求1所述的石墨盘烘烤夹具，其特征在于，所述凹槽(3)的侧面或侧面的开口部分向槽外倾斜。10.一种烘烤装置，其特征在于，包括如权利要求1‑9任一项所述的石墨盘烘烤夹具。2CN114199031A说明书1/6页石墨盘烘烤夹具及烘烤装置技术领域[0001]本申请属于半导体生产设备技术领域，具体涉及一种石墨盘烘烤夹具及使用该石墨盘烘烤夹具的烘烤装置。背景技术[0002]随着半导体行业的发展，反应腔内石墨件的种类也越来越多，烤盘炉及烤盘夹具的使用也越来越广泛，因此，各项影响因素也在不断改善中。目前烤盘夹具主要根据石墨件的尺寸制作，功能单一。发明内容[0003]本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种石墨盘烘烤夹具及使用该石墨盘烘烤夹具的烘烤装置。[0004]根据本申请实施例的第一方面，提供了一种石墨盘烘烤夹具，包括烘烤架，所述烘烤架上安装有多个横梁，每个所述横梁上均设有凹槽，对应所述凹槽构成石墨盘的圆周边；所述烘烤架上还设有两组平行相对的