一种用于微形貌检测的测量力可控的触针式位移传感器.pdf

本发明公开了一种用于微形貌检测的测量力可控的触针式位移传感器，涉及微结构面形质量检测技术领域。所述的传感器主要由测头模块、测头支撑模块、位移检测模块、测量力控制模块等组成；所述的测头模块由探针和探杆构成，可跟随被测样品表面的变化而移动，所述的测头支撑模块用来给测头模块提供径向支持力，所述的位移检测模块，用来测量测头的位移信息；所述的测量力控制模块包括衔铁、电磁铁和微拉压力传感器，可检测和控制测量力。本发明通过调节电磁力将测量力控制在某一范围，既可以保证探针与样品的良好接触，又不会损伤样品，提高了触针式位移

2023-05-28

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用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器.pdf

本发明为用于微形貌测量的磁悬浮触针式位移传感器。包括测量探头、探头支承座、读数传感器、信号处理控制装置。其中触针安装在悬浮式探杆下端，探杆为磁体，探杆设置在探头支承座内并与探头支承座间留有间隙，探头支承座为电磁铁。读数传感器与测量探头对应。设置有信号处理控制装置分别与读数传感器及探头支承座连接。本发明利用磁悬浮支承座和探杆间的磁力作用将探杆和触针悬浮，彻底改变了传统的机械固定接触式探杆安装方法，保证探杆和触针的高顺应性，使探杆只能在垂直于工件表面方向作直线运动，从本质抛掉了传统传感器的非线性误差，大大提高

2023-11-22

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基于标准质量块控制测量力的微形貌检测位移传感器系统.pdf

本发明公开了一种基于标准质量块控制测量力的微形貌检测位移传感器系统，涉及微结构面形质量检测技术领域。所述的传感器系统主要由测头模块、测头支撑模块、位移检测模块、测量力控制模块等组成；所述的测头模块包括探针、探杆、限位机构和轴套，所述的测头支撑模块为磁悬浮轴承，为测头模块提供径向支持力，所述的位移检测模块为一种精密光栅，所述的测量力控制模块主要包括定滑轮机构和标准质量块，通过调节标准质量块的质量来调节测量力。本发明采用标准质量块与定滑轮机构结合的方式提供测量力，能够针对不同被测工件提供不同的测量力，在保证测

2023-05-28

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光栅式杠杆结构触针位移传感器及测量方法.pdf

光栅式杠杆结构触针位移传感器及测量方法。触针式表面轮廓测量仪和表面形状测量仪是用触针扫描法测量工件表面二维形状的距离、角度、圆弧半径等参数的仪器，触针式传感器是表面轮廓测量仪和表面形状测量仪用来采集被测表面轮廓信息的重要部件。本产品其组成包括：传感器基体（1），所述的传感器基体装有回转轴（2）、传感器杠杆（3）、光栅读数头（4）和抬笔机构（5），所述的传感器杠杆前端连接测针架（7），所述的传感器杠杆的尾部圆弧面粘贴光栅尺（6），所述的传感器杠杆后端通过连接片连接阻尼器（8），所述的测针架通过测杆（9）连接

2023-10-21

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触针式光电三维微位移测量系统设计.docx

触针式光电三维微位移测量系统设计摘要：光电三维微位移测量系统是一种高精度的测量设备，可用于测量非常小的微动或振动，目前在机械、电子等领域中应用广泛。本文主要讨论了一种基于触针式技术的光电三维微位移测量系统的设计，系统采用了高精度的测量传感器和精密控制电路，能够实现高精度的三维微位移测量。同时，本文还探讨了该系统的可行性和应用前景，并详细介绍了系统的基本原理和设计流程。关键词：光电三维微位移测量；触针式技术；高精度传感器；精密控制电路；应用前景。1.介绍光电三维微位移测量系统是一种可测量非常小的微动或振动的

2024-10-16

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