一种非接触式测量装置及磨削设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116000815A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202310039573.4(22)申请日2023.01.13(71)申请人宁波芯丰精密科技有限公司地址315400浙江省宁波市余姚市经济开发区城东新区冶山路(72)发明人万先进梁志远边逸军(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332专利代理师王士强(51)Int.Cl.B24B49/02(2006.01)B24B27/02(2006.01)B24B49/12(2006.01)B24B55/00(2006.01)B24B41/02(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称一种非接触式测量装置及磨削设备(57)摘要本发明涉及半导体技术领域，具体公开了一种非接触式测量装置及磨削设备。该非接触式测量装置包括支撑件、旋转机构和光学探头；旋转机构包括驱动电机、连接件、旋转轴、底板和摆臂，连接件和底板均设于支撑件上，驱动电机设于连接件上，且驱动电机的驱动端连接旋转轴；旋转轴远离驱动电机的一端沿竖直方向向下穿过底板后连接摆臂的一端，且摆臂沿水平方向延伸设置，同时光学探头设于摆臂的另一端；底板上还设置有气管接头，气体能够通过气管接头进入底板与旋转轴之间的缝隙。本发明中气体能够将废液从缝隙内吹出，以此避免废液堵塞非接触式测量装置的旋转机构后，对旋转机构的动作精度造成影响，进一步地避免旋转机构产生故障损坏。CN116000815ACN116000815A权利要求书1/1页1.一种非接触式测量装置，其特征在于，包括支撑件(1)以及：旋转机构(2)，所述旋转机构(2)包括驱动电机(21)、连接件(22)、旋转轴(23)、底板(24)和摆臂(25)，所述连接件(22)和所述底板(24)均设于所述支撑件(1)上，所述驱动电机(21)设于所述连接件(22)上；所述驱动电机(21)的驱动端连接所述旋转轴(23)，用于驱动所述旋转轴(23)旋转；所述旋转轴(23)远离所述驱动电机(21)的一端沿竖直方向向下穿过所述底板(24)后连接所述摆臂(25)的一端，且所述摆臂(25)沿水平方向延伸设置；所述底板(24)上还设置有气管接头(26)，气体能够通过所述气管接头(26)进入所述底板(24)与所述旋转轴(23)之间的缝隙；光学探头(3)，所述光学探头(3)设于所述摆臂(25)的另一端，用于对待测量件的厚度进行测量。2.根据权利要求1所述的非接触式测量装置，其特征在于，所述底板(24)沿所述竖直方向设置有第一通道(241)，所述旋转轴(23)能够穿过所述第一通道(241)；所述底板(24)沿所述水平方向设置有第二通道(242)，所述第二通道(242)的一端连通所述气管接头(26)，所述第二通道(242)的另一端连通所述第一通道(241)。3.根据权利要求2所述的非接触式测量装置，其特征在于，所述底板(24)上的所述第一通道(241)沿所述竖直方向向下延伸设置。4.根据权利要求2所述的非接触式测量装置，其特征在于，所述第一通道(241)的内壁上开设有凹槽，所述凹槽内设置有密封环(243)，所述密封环(243)用于密封所述第一通道(241)与所述旋转轴(23)之间的缝隙；所述凹槽设于所述第二通道(242)的上方。5.根据权利要求1所述的非接触式测量装置，其特征在于，所述旋转轴(23)能够穿过并转动设于所述连接件(22)上。6.根据权利要求1所述的非接触式测量装置，其特征在于，所述支撑件(1)包括支撑底座(11)和竖直驱动组件(12)，所述竖直驱动组件(12)和所述底板(24)均设于所述支撑底座(11)上；所述竖直驱动组件(12)的驱动端连接所述连接件(22)，用于驱动所述连接件(22)沿所述竖直方向移动。7.根据权利要求6所述的非接触式测量装置，其特征在于，所述旋转机构(2)和所述竖直驱动组件(12)均设置有两个，两个所述旋转机构(2)和两个所述竖直驱动组件(12)一一对应设置；两个所述旋转机构(2)的两个所述摆臂(25)沿所述水平方向并排设置。8.根据权利要求6所述的非接触式测量装置，其特征在于，所述非接触式测量装置还包括外壳(4)，所述驱动电机(21)、所述连接件(22)、所述底板(24)和所述竖直驱动组件(12)均设于所述外壳(4)内；所述摆臂(25)设于所述外壳(4)外。9.一种磨削设备，其特征在于，包括如权利要求1～8任一项所述的非接触式测量装置，所述磨削设备还包括工作台(5)、磨削装置(6)和抛光装置(7)，所述工作台(5)能够移动至所述磨削装置(6)或所述抛光装置(7)的下方，且所述待测量件设于所述工作台(5)上；所述磨削装置(6)用于对所述工作台(5)上的所述待测量件进行磨削减薄，所述抛