剥离治具、使用了剥离治具的片剥离方法和片剥离装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116031175A(43)申请公布日2023.04.28(21)申请号202211285776.3(22)申请日2022.10.20(30)优先权数据2021-1749812021.10.26JP(71)申请人株式会社迪思科地址日本东京都(72)发明人柿沼良典(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127专利代理师乔婉于靖帅(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)H01L21/683(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图6页(54)发明名称剥离治具、使用了剥离治具的片剥离方法和片剥离装置(57)摘要本发明提供剥离治具、使用了剥离治具的片剥离方法和片剥离装置。能够抑制在将剥离用带牢固地粘贴至保护片的外周缘时剥离用带的粘接面粘贴于保持片的风险。剥离治具包含：下表面部，其载置于粘贴在被加工物的第一面的保持片上；上表面部，其与被加工物的粘贴有保护片的第二面对应；以及抵接部，其具有与被加工物的外周形状对应的形状并且具有与被加工物的厚度对应的厚度，并与被加工物的外周部抵接。上表面部具有超过向保护片粘贴而剥离保护片的剥离用带的宽度的宽度，由拒绝剥离用带的粘贴的原材料构成，下表面部由拒绝保持片的粘贴的原材料构成。CN116031175ACN116031175A权利要求书1/2页1.一种剥离治具，其将第一面借助保持片而固定于环状的框架的开口中的板状的被加工物的第二面上粘贴的与该被加工物为同等的直径的保护片从该第二面剥离，其中，该剥离治具具有：下表面部，其载置于该保持片上；上表面部，其与该被加工物的该第二面对应；以及抵接部，其具有与该被加工物的外周形状对应的形状并且具有与该被加工物的厚度对应的厚度，并与该被加工物的外周部抵接，该上表面部具有超过向该保护片粘贴而将该保护片剥离的剥离用带的宽度的宽度，由拒绝该剥离用带的粘贴的原材料构成，该下表面部由拒绝该保持片的粘贴的原材料构成。2.一种片剥离方法，使用剥离治具将第一面借助保持片而固定于环状的框架的开口中的板状的被加工物的第二面上粘贴的与该被加工物为同等的直径的保护片从该第二面剥离，其中，所述剥离治具具有：下表面部，其载置于该保持片上；上表面部，其与该被加工物的该第二面对应；以及抵接部，其具有与该被加工物的外周形状对应的形状并且具有与该被加工物的厚度对应的厚度，并与该被加工物的外周部抵接，该上表面部具有超过向该保护片粘贴而将该保护片剥离的剥离用带的宽度的宽度，由拒绝该剥离用带的粘贴的原材料构成，该下表面部由拒绝该保持片的粘贴的原材料构成，所述片剥离方法具有如下的步骤：被加工物保持步骤，利用卡盘工作台隔着该保持片而对固定于该框架的该被加工物进行保持；剥离治具配置步骤，在实施了该被加工物保持步骤之后，将所述剥离治具配置于该卡盘工作台所保持的该被加工物的附近而覆盖该保持片；剥离用带粘贴步骤，将向该保护片粘贴的长条的剥离用带在从比该保护片的外周缘靠中心侧的位置至该被加工物的附近的该剥离治具的区域内进行按压，将该剥离用带粘贴于该保护片；以及剥离步骤，将粘贴于该保护片的该剥离用带从该保护片的外周朝向中心拉拽，将该保护片从该被加工物剥离，该片剥离方法防止在将该剥离用带粘贴至该保护片的最外周时该剥离用带粘贴于该保持片。3.一种片剥离装置，其将第一面借助保持片而固定于环状的框架的开口中的板状的被加工物的第二面上粘贴的与该被加工物为同等的直径的保护片从该第二面剥离，其中，该片剥离装置具有：卡盘工作台，其利用保持面隔着该保持片而对该被加工物进行保持；剥离治具，其在该卡盘工作台所保持的该被加工物的附近覆盖该保持片；提供单元，其提供向该保护片粘贴的剥离用带；2CN116031175A权利要求书2/2页按压单元，其将该剥离用带在从比该保护片的外周缘靠中心侧的位置至该被加工物的附近的该剥离治具的区域内进行按压，将该剥离用带粘贴于该保护片；以及剥离单元，其拉拽粘贴于该保护片的该剥离用带，从该被加工物剥离该保护片，所述剥离治具具有：下表面部，其载置于该保持片上；上表面部，其与该被加工物的该第二面对应；以及抵接部，其具有与该被加工物的外周形状对应的形状并且具有与该被加工物的厚度对应的厚度，并与该被加工物的最外周抵接，该上表面部具有超过向该保护片粘贴而剥离该保护片的剥离用带的宽度的宽度，由拒绝该剥离用带的粘贴的原材料构成，该下表面部由拒绝该保持片的粘贴的原材料构成，该片剥离装置防止在将该剥离用带粘贴至该保护片的最外周时该剥离用带粘贴于该保持片。3CN116031175A说明书1/11页剥离治具、使用了剥离治具的片剥离方法和片剥离装置技术领域[0001]本发明涉及剥离治具、使用了剥离治具的片剥离方法和片剥离装置。背景技术[0002]在通