一种高纯石英砂的提纯方法.pdf

本发明公开了一种高纯石英砂的提纯方法,包括以下步骤:步骤1:真空脱羟将石英精砂送入高温真空脱羟炉,维持一定的温度和负压;步骤2:热氯除杂将脱羟处理后的石英砂导入热氯除杂装置,通入Cl2至炉膛内维持常压或微正压,使氯气与石英砂颗粒表面杂质充分反应生成氯化物气体;打开真空系统将杂质气体排除排尽,通入氮气驱赶残留氯;步骤3:超纯水清洗将热氯除杂后的石英砂卸入流动水槽经砂浆泵输送至石英砂清洗机采用超纯水清洗;步骤4:脱水干燥将清洗干净的石英砂送至高速转鼓离心机,脱水至水分含量<5%,然后输送至迴转式石英玻管干燥炉干燥,在温度200-700℃的条件下,得到出料水分含量小于0.1%的石英砂,干燥后的石英砂纯度为4N5-4N8,不含羟基和气液包裹体。