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非本征光纤法布里珀罗温压传感器及其制备方法.pdf

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本申请涉及传感器技术领域,尤其涉及一种非本征光纤法布里珀罗温压传感器及其制备方法,包括多芯光纤、不掺杂硅柱和掺杂硅柱;多芯光纤包括平行设置的第一纤芯和第二纤芯,第一纤芯的右端面与不掺杂硅柱的左端面接触,第二纤芯的右端面与不掺杂硅柱的左端面不接触,以在第一纤芯的右端面与不掺杂硅柱的右端面之间形成硅法布里珀罗干涉腔;不掺杂硅柱的右端面与掺杂硅柱的左端面连接,第二纤芯的右端面与掺杂硅柱的左端面不接触,以在第二纤芯的右端面与掺杂硅柱的左端面之间形成开放式空气法布里珀罗干涉腔;可以解决现有温度与压力监测仪器不仅监测效率低下;而且体积较大、结构较为复杂、传感器的布设难度与成本也较高的问题。