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一种微机电系统及其温度确定方法、温度补偿方法.pdf

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本申请公开了一种微机电系统及其温度确定方法、温度补偿方法。该温度补偿方法包括:控制微机电系统的谐振型惯性器件动作,以获得具有第一频率的谐振电信号及包含惯性传感信息的惯性电信号;控制微机电系统的谐振器器件动作,以获得具有第二频率的时钟电信号;基于谐振电信号的一个脉冲周期,对时钟电信号的脉冲进行计数,以获得与微机电系统的温度成比例的计数值;根据计数值,确定并输出微机电系统的温度;基于微机电系统的温度及预设温度补偿对照列表,分别对谐振型惯性器件以及谐振器器件进行相应的温度补偿,以输出目标惯性电信号和目标时钟电信号。本技术方案,可确保该微机电系统输出的目标惯性电信号和目标时钟电信号的准确性。