神经信号检测跨尺度微纳电极阵列芯片、制备方法及其应用.pdf

本发明提供一种神经信号检测跨尺度微纳电极阵列芯片、制备方法及其应用,属于传感器技术,该芯片由基底、微纳电极阵列、对电极、参比电极、引线及外接触点组成,微纳电极阵列中的微米电极点上分布有等间距排列的纳米级圆柱阵列,采用溅射、光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀等微机电系统传统工艺和自组装微球掩膜、温控相变熔融生物创新工艺相结合制备。其中,微纳电极阵列的纳米柱阵列单元可以促进细胞与电极的耦合,减少漏电流,且在不改变电极几何直径的前提下增加了电极的表面积,减小阻抗。本发明芯片检测信号幅值高、噪声小、综合提高神经信号检测的信噪比,芯片制备方法经济、快速、方便,适用于神经科学的相关研究。