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光学摄像装置、光学检查装置以及光学检查方法.pdf

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本发明公开光学摄像装置、光学检查装置以及光学检查方法。根据实施方式,光学摄像装置具备成像光学部、波长选择部以及摄像部。将与成像光学部的第1光轴交叉的轴设为第1轴,将与第1光轴以及第1轴交叉的轴设为第2轴。波长选择部具备多个波长选择区域。多个波长选择区域是根据沿着第1轴的方向与沿着第2轴的方向而分布不同的各向异性波长选择开口。波长选择部使具有第1波长的第1光线和具有第2波长的第2光线针对每个波长选择区域而选择性地同时通过。摄像部同时获取第1光线以及第2光线波长的像。