一种声表面波谐振器和声表面波滤波器.pdf
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本发明公开了一种声表面波谐振器和声表面波滤波器,该声表面波谐振器包括:压电衬底层;电极层,位于压电衬底层的上表面;电极层包括叉指式换能器;叉指式换能器包括:第一汇流条和第二汇流条,交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指,以及交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指;第一电极指和第二虚设电极指相对设置,第一电极指和第二虚设电极之间具有第一间隙,第二电极指和第一虚设电极指相对设置,第二电极指和第一虚设电极之间具有第二间隙;声表面波的传播方向与第一设定方向的夹角范围为1°~15°,其中
一种声表面波谐振器及其制备方法、声表面波滤波器.pdf
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