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一种绝对式平面二维时栅位移传感器.pdf

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本实用新型公开了绝对式平面二维时栅位移传感器,包括上下平行的定阵面和动阵面两部分,定阵面由定阵面基体和激励线圈组成,动阵面由动阵面基体和感应线圈组成,按x方向排布的n+1个对极的线圈阵列构成的第一组激励线圈、按y方向排布的n+1个对极的线圈阵列构成的第三组激励线圈、第一、第三组感应线圈构成的第一测量通道,按x方向排布的n个对极的线圈阵列构成的第二组激励线圈、按y方向排布的n个对极的线圈阵列构成的第四组激励线圈、第二、第四组感应线圈构成本实用新型的第二测量通道;在不同时刻分别对两个测量通道中的激励线圈通入完全相同的交流激励信号,对感应线圈输出的感应电信号进行处理后得到绝对式平面二维位移测量值。