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本发明提供了一种深层过滤滤芯、过滤器组件。深层过滤滤芯,包括:以圆柱形方式排列的第一过滤层,第一过滤层的厚度为5mm~20mm且包含平均直径为0.3μm~10μm的纤维;具有孔的第二过滤层,叠置在第一过滤层上且厚度为0.02mm~1mm,第二过滤层被折叠成褶皱形并具有多个褶,褶高为18mm~35mm;第三过滤层,叠置在第二过滤层上且厚度为3mm~30mm,第三过滤层包含平均直径为1μm~5μm的纤维。本发明的深层过滤滤芯及过滤器组件具备对粒径大于1μm的颗粒物具有较高的过滤效率,过滤效率不小于85%,能够确保例如化学机械抛光液过滤后液体中的纳米磨粒数量满足要求。