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本发明公开了一种镀锌板表面缺陷原位分析方法,属于镀锌板表面质量分析方法技术领域。该方法包括如下步骤:1)镀锌板试样的预处理;2)镀锌板试样表面缺陷区域的原位切割;3)镀锌板试样表面缺陷区域切割截面的显微形貌的观察和分析;该分析方法采用直接在缺陷区域进行原位截面制样,采用聚焦离子束扫描电子显微镜双束系统对镀锌板表面缺陷部位进行纳米尺度精密加工,并结合扫描电子显微镜、电子背散射衍射、能谱仪等分析手段进行实时观察,可分析镀锌板表面缺陷的各种类型和形成原因。