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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116031219A(43)申请公布日2023.04.28(21)申请号202211719774.0H01L23/467(2006.01)(22)申请日2022.12.30H01L23/34(2006.01)(71)申请人青岛理工大学地址266520山东省青岛市经济技术开发区嘉陵江路777号(72)发明人张西龙柳江刘碧龙李敏安峰岩(74)专利代理机构郑州意创知识产权代理事务所(特殊普通合伙)41138专利代理师张江森(51)Int.Cl.H01L23/367(2006.01)H01L23/473(2006.01)H01L23/42(2006.01)H01L23/433(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图3页(54)发明名称一种芯片冷却系统及其控制方法(57)摘要本发明提出一种芯片冷却系统及其控制方法,包括:制冷外壳,制冷外壳内部形成有供磁纳米流体流通的冷却液管道;翅片结构、密封结构,磁场发生器阵列以及导流支架,通过磁纳米流体内温差产生的流体密度差为其流动的驱动力,使磁纳米流体循环流动,以对芯片实现冷却。创新磁纳米流体基液温差自驱动结构设计,克服芯片自然热对流和温差自驱动影响下的安装角度限制,提高芯片的环境适应性。CN116031219ACN116031219A权利要求书1/2页1.一种芯片冷却系统,其特征在于,包括:制冷外壳,制冷外壳内部形成有供磁纳米流体流通的冷却液管道;翅片结构,形成于所述制冷外壳的两端面,以实现将芯片产生的热量通过自然对流散热;密封结构,其用于将制冷外壳密封,防止磁纳米流体的泄露;磁场发生器阵列,包括多个磁场发生器单元,每个磁场发生器单元均包括电磁线圈和铁芯,用于产生单向或者交变磁场,将磁场施加于制冷外壳内部通道内的磁纳米流体,使磁纳米颗粒在磁场的作用下形成磁链,形成热通道;导流支架,其位于制冷外壳内的冷却液管道内,其左右两侧为具有弧度的光滑曲面,中间为U形框架,通过导流支架将制冷外壳的内部流道分成了两部分:导流支架的下曲面与制冷外壳内部流道构成的第一部分;导流支架的上曲面与制冷外壳内部流道构成的第二部分;通过磁纳米流体内温差产生的流体密度差为其流动的驱动力,使磁纳米流体循环流动,以对芯片实现冷却。2.根据权利要求1所述的一种芯片冷却系统,其特征在于,所述密封结构包括密封垫和密封板,所述密封垫位于制冷外壳和密封板的中间,所述密封板紧贴密封垫的外部。3.根据权利要求1所述的一种芯片冷却系统,其特征在于,所述磁场发生器阵列由多个磁场发生器单元组成,每个单元同时通电流,通过电磁感应产生相同的磁场强度;或在控制器的作用下分别通电,产生不同的磁场强度。4.根据权利要求1所述的一种芯片冷却系统,其特征在于,所述芯片冷却系统还包括多个贴片式热电偶温度传感器:所述多个贴片式热电偶温度传感器紧密贴合在芯片的表面,用于采集不同位置处的温度,并将温度信号传递给控制器,磁场强度由电流大小决定,电流大小由控制器控制,控制器通过温度传感器采集不同热点位置处的温度,优化出左右的控制电流,实现不同的磁场强度。5.根据权利要求1所述的一种芯片冷却系统,其特征在于,所述翅片结构包括内翅片和外翅片,分别位于制冷外壳的外端面和内端面,用于提高芯片向环境中的自然对流换热性能。6.根据权利要求1所述的一种芯片冷却系统,其特征在于,所述铁芯四周加工有沟槽,电磁线圈和铁芯紧密连接在一起,两者共同组成光滑的圆柱表面,紧密的安装在制冷外壳的圆柱形槽内。7.根据权利要求1所述的一种芯片冷却系统,其特征在于,所述制冷外壳与芯片表面间设置有导热硅脂,以消除接触热阻。8.根据权利要求1所述的一种芯片冷却系统,其特征在于,保持芯片的转动轴线为水平线,芯片沿任意水平线倾斜安装,倾覆角度为0°‑360°,优选地,制冷外壳的内部左右流道呈横置“8字形”,左右流道均有一个最高点和最低点,左右流道内的磁流体流动方向相反。9.根据权利要求1‑8任一项所述的芯片冷却系统的控制方法,其特征在于,芯片在其表面产生一定的温度时,热量传递给制冷外壳的下表面,冷却液管道内充满了磁性纳米流体,并在靠近芯片的附近处首次吸收热量,逐渐将该位置处的磁性纳米流体加热,加热后的流体密度逐渐降低,并产生上浮的动力;上浮的磁性纳米流体在导流支架左、右部分下曲面的导流作用下,将上部密度较大的磁性纳米流体继续往上推动;同时在导流支架左、右部分上2CN116031219A权利要求书2/2页曲面的导流作用下,产生与下曲面相同方向的流体流动路径;流道左侧产生逆时针的流动;流道右侧产生顺时针的流动,从而形成两个磁性纳米流体的循环方式;芯片不停地产生热量,使磁性纳米流体不断地产生上浮力,提供左、右两个循环的动力;磁性纳米流体在流体流动的过程中,不